Влияние германия на кинетику образования низкотемпературных термодоноров и на начальные стадии процесса распада пересыщенного твердого раствора кислорода в кремнии

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР
1.1. Фазовые равновесия в системе О
1.2. Распад пересыщенного твердого раствора кислорода в кремнии
1.3. Термодонорный эффект в кремнии
1.3.1. Образование термодоноров
1.3.2. Низкотемпературные термодоноры
1.3.3. Высокотемпературные термодоноры
1.4. Влияние германия на термодонорный эффект в кремнии
1.5. Влияние германия на физические свойства кремния
1.6. Влияние облучения на процессы распада пересыщенных твердых растворов
1.7. Цели диссертации
2. МЕТОДИКИ ИССЛЕДОВАНИЯ
2.1. Аппаратура и режимы термообработок
2.2. Определение концентрации кислорода в монокристаллах кремния
2.3. Измерение времени жизни неосновных носителей заряда по спаду лазерноиндуцированной фотопроводимости
в монокристаллах кремния
2.4. Измерение коэффициента Холла, определение удельного сопротивления, концентрации и подвижности основных носителей заряда
в монокристаллах кремния
2.5. Определение концентрации структурных дефектов в монокристаллах кремния
2.6. Электронная микроскопия
2.7. Облучение монокристаллов кремния быстрыми
электронами
2.8. Нестационарная емкостная спектроскопия глубоких
уровнен
2.9. Метол электронной Оже спектроскопии
3. ПРОВЕДЕНИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ И ЕГО РЕЗУЛЬТАТЫ
3.1. Объекты исследования
3.2. Структура и свойства термообработанных легированных
и нелегированных германием монокристаллов кремния
3.2.1. Физические свойства монокристаллов кремния
после термообработки 0 С
3.2.2. Физические свойства монокристаллов кремния
после гермообработок 0 С и 0 С
3.2.3. Физические свойства монокристаллов кремния
после многоступенчатой термообработки 0 С 0 С
4. ОБСУЖДЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ
ВЫВОДЫ
ЛИТЕРАТУРА