СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
1 ПЕРЕХОД МЕТАЛЛИЗОЛЯТОР И ЯВЛЕНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО
ПЕРЕКЛЮЧЕНИЯ В ОКСИДАХ ВАНАДИЯ. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ
1.1 Переход металлизолятор в оксидах ванадия.
1.1.1 Общая характеристика проблемы переходов металл изолятор в соединениях I
металлов
1.1.2 Теоретические модели перехода металлизолятор.
1.1.3 Переход металлизолятор в оксидах ванадия.
1.1.4 Метастабильная аморфная фаза двуокиси ванадия.
1.2 Электрическое переключение
1.2.1 Теоретические модели эффекта переключения.
1.3 Переключение в структурах на основе диоксида ванадия
1.4 Флукгуационные явления
1.4.1 Фрактальные понятия в нелинейной динамике.
1.4.2 Стохастический резонанс.
1.4.3 Флуктуации тока в структурах на основе диоксида ванадия.
1.5 Выводы из обзора литературы. Постановка задачи
2 МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ.
2. Методика получения образцов
2.1.1 Подготовка поверхности подложек.
2.1.2 Методика получения металлических пленок.
2.1.3 Анодное окисление.
2.1.4 Получение пленок Уметодом реактивного распыления
2.2 Электрофизические измерения.
2.2.1 Измерение вольтамперных характеристик и формовка.
2.2.2 Измерение шумов.
2.2.2.1 Запись и обработка сигнала на ЭВМ.
2.2.2.2 Измерение флуктуаций периода автоколебаний
2.2.3 Изучение влияния одноосного давления на параметры переключателя.
3 ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СТРУКТУР НА ОСНОВЕ ДИОКСИДА
ВАНАДИЯ.
3.1 Переключение и ПМИ в сильных электрических полях.
3.1.1 Методика проведения численного моделирования
3.1.2 Результат моделирования.
3.1.3 Выводы
3.2 Явления хаотической динамики
3.2.1 Экспериментальное наблюдение взрывных шумов.
3.2.2 Стохастический резонанс.
3.2.3 Генерация стохастических колебаний
3.2.4 Шумы в V У Ме сэндвич переключателе.
3.2.5 Шумы в планарном переключателе
3.2.6 Выводы
3.3 Электрические свойства структур 8 8Ю2 У.
3.4 Электрические свойства структур Б У Ме
3.5 Влияние давления на параметры переключения в струкгурах на основе двуокиси
ванадия .
4 ПОЛУЧЕНИЕ СТРУКТУР СУБМИКРОННОГО МАСШТАБА
4.1 Получение окиснованадиевого резиста
4.2 Экспонирование окиснованадиевого резиста.
4.2.1 Физические основы электроннолучевой модификации
4.3 Проявление окиснованадиевого резиста.
4.3.1 Химические методы жидкофазного равления.
4.3.2 Электрополировка как метод проявления резиста
4.3.3 Плазмохимическое травление.
4.3.4 Конструкции переключателей микро и наномасштаба.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922