Исследование физических процессов ионного отщепления (SMART-CUT) оптическими методами

ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ПРАКТИЧЕСКОЕ ПРИМЕНЕНИЕ И ФИЗИЧЕСКИЕ ПРОБЛЕМЫ МЕТОДА ВОДОРОДНОГО ОТЩЕПЛЕНИЯ .
1.1 Метод .
1.2 Физические основы ионного отщепления
1.3 Состояние проблеммы и задачи исследований.
Выводы.
ГЛАВА 2. МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
2.1 Подготовка образцов.
2.2 Методы оптической спектроскопии отражения и пропускания
2.3 Исследование структуры поверхности с помощью оптического микроскопа.
2.4 Методика анодного окисления и стравливания для послойного анализа
Выводы.
ГЛАВА 3. ФОРМИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТНОЙ СТРУКТУРЫ И
ОТСЛАИВАНИЕ В ИМПЛАНТАЦИОННЫХ СЛОЯХ I
3.1 Структурные нарушения в имплантированном слое.
3.2 Интерференция и рассеяние при блистеринге.
3.3 Оптическая модель слоистой структуры поверхности
3.4 Формирование слоистой структуры при имплантации и термообработке.
3.5 Перестройка водородных состояний
3.6 Развитие микроструктуры имплантированного слоя
3
ГЛАВА 4. ФИЗИЧЕСКИЕ МЕХАНИЗМЫ ВОДОРОДНОГО
БЛИСТЕРИНГА И ОТЩЕПЛЕНИЯ
4.1 Представление процессов отслаивания с позиции теории разрушения
4.2 Форма и ориентация газовых включений в твердом теле. Феноменологический подход.
4.3 Термодинамическая трансформация водородных включений в кремнии.
4.4 Физические модели процессов отслаивания при блистеринге и отщеплении
Выводы.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
ЛИТЕРАТУРА