СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
Глава 1. СОВРЕМЕННЫЕ ПРЕДСТАВЛЕНИЯ О
МЕХАНИЗМАХ ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ И ГАЗОВОЙ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ
МЕТАЛЛООКСИДНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ
1.1. Кристаллическая решетка диоксида олова, е строение.
Зонная структура Яп
1.2. Взаимодействие молекул газов
с поверхностью металлооксидных полупроводников
1.3. Существующие модели токопереноса
и газовой чувствительности
1.3.1. Электрическая модель
1.3.2. Барьерная модель
1.3.3. Модели газовой чувствительности
1.4. Влияние микроструктуры пленок
на их газовую чувствительность .
1.5. Влияние легирования
на газовую чувствительность пленок
Выводы к первой главе
Глава 2. МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕ1 ИГА
2.1. Подготовка подложек
2.2. Методы получения слоев диоксида олова
2.2.1. Метод магнетронного распыления
2.2.2. Метод ионноплазменного распыления
2.3. Измерение толщины и методы измерения
оптических параметров пленок БпОг
2.3.1. Измерение толщины пленок БпСЕ
2.3.2. Методы измерения оптических параметров
пленок 8п
2.4. Методы измерения электрических параметров пленок БпСЬ
2.4.1. Измерение удельного сопротивления
2.4.2. Температурные зависимости электрических параметров пленок 8п, измеренные с помощью эффекта Холла
2.5. Методика измерения газовой чувствительности пленок 8п
2.6. Методика легирования пленок диоксида олова примесями палладия и платины
Глава 3. ТЕРМОСТАБИЛИЗАЦИЯ ПЛЕНОК Бп РАЗЛИЧНЫМИ ВИДАМИ ОТЖИГОВ
3.1.Влияние изотермического отжига
на физические и газочувствительные свойства пленок Бп
3.2. Влияние импульсного фотонного отжига на физические свойства пленок 8п
3.3. Термостабилизация элементов микроэлектронного датчика газов на основе 8п
Выводы к третьей главе
Глава 4. ВЛИЯНИЕ ПРИМЕСЕЙ БЛАГОРОДНЫХ МЕТАЛЛОВ НА СВОЙСТВА ПЛЕНОК Бп
4.1. Основные параметры пленок Бп легированных палладием и платиной
4.2. Исследование электрических свойств
пленок 8п легированных палладием и платиной
4.3. Газочувствительные свойства пленок 8гЮ2 легированных палладием и платиной
Выводы к четвертой главе
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922