Динамика поверхностного слоя монокристаллических подложек при газоразрядном напылении пленок

Оглавление
ВВЕДЕНИЕ
1 Проблема характеризации модификации поверхности при взаимодействии с ионами литературный обзор.
1.1 Методы ионной модификации поверхностей
1.2 Получение тонких металлических пленок при ионном распылении
1.3 Влияние процесса ионного распыления на статистические характеристики поверхности.
1.4 Зависимость структурного совершенства и морфологии поверхности гетероэпитаксиальных пленок от плазменных процессов.
2 Метод рентгеновской энергодисперсионной дифракции РЭД для структурных исследований
2.1 Теория метода РЭД.
2.2 Формула интегральной интенсивности для пол и кристаллических материалов
2.3 Поправки к формуле интегральной интенсивности.
2.4 Полупроводниковые детекторы.
2.5 Точность метода РЭД.
2.6 Применение метода РЭД.
2.6.1 Исследования текстуры.
2.6.2 Структурные исследования при высоком давлении.
2.6.3 Структурные исследования неупорядоченных материалов.
2.6.4 Кристаллизация металлических стекол.
2.7 Выводы второй главы.
3 Исследование мопокристальных подложек методом рентгеновской
энергодисперсионной дифракции
3.1 Подложки ЬаАЮз на спектрометре X X.
3.2 Подложки на спектрометре X X.
3.3 Подложки 3 на дифрактометре УРД 4В
3.4 Подложки на дифрактометре i i IV
3.5 Расчет среднеквадратичных отклонений атомов от узлов решетки .
3.6 Исследование профиля концентрации атомов пленки .i в поверхностном слое монокристаллической подложки ЬаАЮз.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
Список цитируемой литературы