Синтез композиционных оксидных покрытий на основе разрядной системы с инжекцией электронов

СОДЕРЖАНИЕ
Введение
1. Ионноплазменные методы формирования
композиционных оксидных покрытий
1.1. Формирование оксидных покрытий
1.2. Особенности формирования композиционных покрытий
1.3. Генераторы плазмы на основе разрядных систем
с инжекцией электронов
1.4. Выводы и постановка задач исследований
2. Методика и техника эксперимента
2.1 Экспериментальный макет напылительного устройства
2.2. Методика измерений параметров плазмы
2.2.1. Методика измерения энергетических спектров электронов
2.2.2. Зондовая методика
2.2.3. Использование времяпролетной методики
2.3. Определение оптимальных условий нанесения покрытий
2.4. Методика измерений структуры, состава и толщины покрытий
2.5. Выводы
3. Процессы генерации и исследование параметров объемной плазмы разрядной системы с инжекцией электронов
3.1. Характеристики и параметры разрядов
3.2. Энергетические спектры электронов
3.3. Температура электронов в объемной плазме
3.4. Однородность параметров плазмы
3.5. Массзарядовый состав ионов в плазме
3.6. Выводы
4. Синтез функциональных композиционных оксидных покрытий
4.1. Влияние параметров эксперимента на скорость роста покрытий
4.2. Формирование гидрофобных оксидных покрытий
4.3. Формирование электропроводящих оксидных покрытий
4.4. Выводы
Заключение
Список использованной литературы