Содержание.
Введение
Обзор литературы
Оптические сенсорные устройства
Поверхностные плазмонные волны
Глава 1. Методы формирования и структурные исследования металлических и диэлектрических пленок с оптимальными резонансными характеристиками многослойных структур.
1.1. Условия проведения эксперимента
1.2. Металлические мишени для магнетрона
1.3. Диэлектрические мишени для ионных источников.
1.4. Магнетронная распылительная система.
1.5. Устройство для получения многослойных структур.
1.6. Сканирующая атомно силовая микроскопия.
1.7. Условия приготовления тонких металлических и дюлекрических пленок
1.8. Ионный источник
1.9. Влияние ионной бомбардировки поверхности подложек на свойства
1 Формирование структуры металлических иленок.
1 Формирование буферных оксидных слоев
1 Влияние переходного слоя диэлектрика на чувствительность сенсора
Глава 2. Применение поверхностных плазмонных волн для определения парамезров растущих плнок.
2.1. Применение поверхностных электромагнитных волн для измерения толщин
растущих плнок
2.2. Влияние растущей оксидной плнки на свойства поверхности металлического слоя.
2.3. Определение оптимальной толщины барьерной диэлектрической плнки. Схема
эксперимента.
Глава 3. Поверхностная плазменная спектроскопия бактериальных слоев
3.1 Характеристика бактерий со специфическими функциями
3.1.1. Метанотрофные бактерии
3.1.2. Метилотрофные бактерии
3.1.3. Водородокисляющие водородные бактерии.
3.2. Выращивание чистых культур метанотрофных, метилотрофных, водородных бактерий и бактерий на эпгиленгликоль
3.3. Подготовка чувствительного элемента к эксперименту
3.4. Методика приготовления чувствительных слоев бактерий
3.5. Лабораторный макет сенсора.
3 .6. Измерение методом ППР параметров тестируемых газов.
3.8. Создания прототипа биосенсора.
Основные выводы
Литература
- Київ+380960830922