Взаимодействие водорода с железом, золотом и мелкими донорами в кремнии

ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА I. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР.
1.1 Взаимодействие водорода с мелкими примесями и термодонорами в кремнии.
1.2.1 Комплексообразование и диссоциация центров, связанных с атомами переходных металлов в кремнии.
1.2.2 Взаимодействие водорода с атомами переходных металлов в кремнии.
ВЫВОДЫ. ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ.
ГЛАВА П. МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА.
2.1 Исследование свойств электрически активных примесей в полупроводниках емкостными методами.
2.1.1 Физические принципы, лежащие в основе метода РСГУ.
2.1.2 Принципы обработки сигнала релаксации емкости в методе РСГУ. Экспериментальная установка.
2.2 Образцы, используемые в работе. Диффузия примесей.
Насыщение кристаллов водородом.
2.2.1 Влияние азота или азотсодержащих дефектов на диффузию золота в Чохральском кремнии.
ГЛАВА Ш. ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ВОДОРОДА С МЕЛКИМИ ДОНОРАМИ В КРЕМНИИ.
3.1 Взаимодействие водорода с мелкими донорами различной природы.
3.2 Пассивация водородом электрической активности азоткислородных комплексов.
ГЛАВА IV ВЛИЯНИЕ ВОДОРОДА НА ЭЛЕКТРИЧЕСКУЮ АКТИВНОСТЬ ЖЕЛЕЗА И ЖЕЛЕЗОСОДЕРЖАЩИХ КОМПЛЕКСОВ В КРЕМНИИ.
4.1 Возникновение электрически активного междоузельного железа в кремнии при гидрогенизации в ЖХТ.
4.2 Анализ профилей распределения междоузельного железа, полученных после ЖХТ и последующего отжига с приложенным обратным смещением ЯВА.
ГЛАВА V. ИЗУЧЕНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКИ АКТИВНЫХ ВОДОРОДСОДЕРЖАЩИХ ЦЕНТРОВ В КРЕМНИИ, ЛЕГИРОВАННОМ ЗОЛОТОМ.
5.1 Возникновение электрически активных дефектов в кремнии, легированном золотом, в результате насыщения водородом
5.2 Формирование электрически активных комплексов золотоводород в кремнии, легированном золотом, в результате КВА.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ. ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ