Разработка автоматизированной системы проектирования вакуумных пьезоэлектрических приводов

СОДЕРЖАНИЕ.
Содержание
ВВЕДЕНИЕ.
1. Обзорноаналитические исследования пьезоэлектрических приводов и САПР
1.1 Схемы пьезоэлектрических приводов.
1.2 Морфологический анализ пьезоэлектрических приводов.
1.3 Особенности автоматизированного проектирования вакуумных пьезоэлектрических приводов
1.4 Постановка задачи исследования.
2. Теоретический подход к решению задачи создания автоматизированной системы проектирования пьезоэлектрических приводов.
2.1 Понятие о выборе вариантов пьезоэлектрических приводов.
2.2 Формы интегрального критерия.
2.3 Аналитическая процедура Саати
2.4 Обобщенный критерий оценки качества пьезоэлектрических приводов Выводы по главе 2
3. Математическая модель автоматизированной системы проектирования.
3.1 Структура модели сложных процессов в пьезоэлектрических приводах. .
3.2 Вероятностная оценка работоспособности и ее общий запас в детали.
3.3 Физические представления о природе сухого трения в вакууме.
3.4 Закономерности процесса газовыделения при трении сопряженных тел в пьезоэлектрическом приводе.
3.5 Энергетический баланс в зоне контакта деталей
3.6 Расчт опорных узлов пьезоэлектрического привода.
3.7 Расчт скорости движения выходного звена пьезоэлектрического привода
3.8 Расчт элементов пьезоэлектрического привода на привносимый уровень загрязнения
3.9 Расчт эффективного коэффициента трения в зоне контакта выходного
звена и упругой пластины.
Выводы по главе 3
4. Экспериментальные исследования пьезоэлектрических приводов
4.1 Характеристика пьезоэлектрического привода.
4.2 Исследование динамических параметров пьезоэлектрического привода.
4.3 Исследование кинематических характеристик пьезоэлектрического привода.
4.4 Исследование силовых характеристик пьезоэлектрического привода.
4.5 Вакуумная установка для исследования работоспособности пьезоэлектрического привода в вакуу ме
4.6 Результаты экспериментальных исследований.
Выводы по главе 4.
5. Разработка перспективных пьезоэлектрических приводов с использованием автоматизированной системы пректирования.
5.1 Пьезопривод для нанотехнологии
5.2 Устройство перемещения для нанотехнологии.
Выводы по главе 5.
Заключение
Литература