Оглавление
ОГЛАВЛЕНИЕ.
ПРИНЯТЫЕ СОКРАЩЕНИЯ
ВВЕДЕНИЕ
имин1мнжжммтнжм1иннм1мжнин1имиии1мим1ми1ими1ммммвмтин1иин1ии1ммммммнмм1ммн
Актуальность работы.
Цепь работы.
Научная новизна.
Практическая значимость.
ГЛАВА 1. ОБЗОР ПРЕДМЕТНЫХ ОБЛАСТЕЙ .
I. I ЭПИТАКСИАЛЬНАЯ XIЮЛОГИЯ
1.1.1. Особенности формирования кристаллической структуры полупроводников.
1.1.2. Основные группы методов эпитаксиальной технологии.
1.1.3. Метод МОСГФЭ
1.1.4. Свойства полупроводников, применяемых при создании гетероструктур методами эпитаксиальной технологии.
1. 1.4.1. Общая характеристика
1.1.4.2. Классификация полупроводников
1.1.4.3. Основные свойства полупроводников
1.1.4.4. Арссннд галлия.
1.1.5. Установки для проведения процесса эпитаксии.
1.1.5.1. Общие характеристики различных установок.
1.1.5.2. Особенности установок серии IX и Сигмос0 .
1.2 Разработка специализировi ыых программ 1ых комплексов
1.2.1. Системный анализ
1.2.2. Моделирование.
1.2.2.1. Вычислительный эксперимент.
1.2.3. Виды, функциональные возможности и области применения специализированных программных комплексов
1.2.3. Создаваемые решения в области специализированных программных комплексов.
ГЛАВА 2. ПОСТРОЕНИЕ ФОРМАЛИЗОВАННОГО ОПИСАНИЯ СПЕЦИАЛИЗИРОВАННОГО ПРОГРАММНОГО КОМПЛЕКСА
2.1. Постановка задачи.
2.2. Взаимосвязь параметров процесса эпитаксии.
2.3. Экспериментальные данные, используемые в СПК
2.3.1. Нзегированные эпитаксиальные слои .
2.3.2. Эпитаксиальные слои , легированные , i, С.
2.3.3. Возможные неполадки при работе Сигмос0 и пути их устранения.
2.4. План проведения процесса выращивания эпитаксиальных слоев
2.5. Формализация задач СПК.
2.5.1. Выбор среды реализации СПК.
2.5.1.1. Среда разработки i.
2.5.2. Алгоритмы I1.
ГЛАВА 3. РЕАЛИЗАЦИЯ СПЕЦИАЛИЗИРОВАННОГО ПРОГРАММНОГО КОМПЛЕКСА
3.1. СТРУК1УРА СПК
3.2. Загрузочный модуль.
3.3. Управляющий модуль.
3.4. Модуль Оценка параметров процесса и характеристик слоев
3.5. Модуль Справочная информация.
3.6. Модуль Эксперимент, управляющий компьютер
3.7. Модуль Установка.
3.8. Модуль Схема установки.
3.7. Модуль Исследование структуры
ГЛАВА 4. ПРИМЕНЕНИЕ СПЕЦИАЛИЗИРОВАННОГО ПРОГРАММНОГО КОМПЛЕКСА
ЗАКЛЮЧЕНИЕ .
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922