Повышение эффективности управления технологическим процессом формирования структур интегральных элементов

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
1 АНАЛИЗ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ПРОИЗВОДСТВА.
1.1 Анализ технологического процесса производства элементов интегральной электроники.
1.2 Технологический процесс как объект управления.
Выводы к главе 1
2 УПРАВЛЕНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИМИ ПРОЦЕССАМИ ПРИ
ПРОИЗВОДСТВЕ ЭЛЕМЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ.
2.1 Алгоритмы управления технологическими процессами
2.2 Исследования и составление схемы процесса.
2.3 Моделирование процессов и эффективность выбора управлений.
2.4 Формализация цели управления.Л
Выводы к главе 2.
3 УПРАВЛЕНИЕ ПРОЦЕССОМ ФОРМИРОВАНИЯ СТРУКТУРЫ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ
3.1 Совершенствование метода и повышение эффективности управления технологическим процессом имплантации.
3.2 Управление динамическими параметрами интегральных элементов в процессе формирования структур
3.3 Управление технологическими параметрами структурных слоев.
Выводы к главе 3
4 МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ОТЖИГА НЕКОГЕРЕНТНЫМ ИЗЛУЧЕНИЕМ ПРИ
ФОРМИРОВАНИИ ИОННОЛЕГИРОВАННЫХ СЛОЕВ.
4.1 Особенности процесса отжига некогерентным излучением
4.2 Разработка модели процесса натрева полупроводниковых пластин при некогерентном отжиге
4.3 Управление процессом отжига пластин
Выводы к главе 4.
5 МОДЕЛИРОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ТРАВЛЕНИЯ
5 Л Процесс травления в технологии микроэлектроники
5.2 Моделирование процесса травления
Выводы к главе 5.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ