ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ. РЕЗУЛЬТАТЫ МД МОДЕЛИРОВАНИЯ В ОСНОВНЫХ НАПРАВЛЕНИЯХ ИССЛЕДОВАНИЯ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ИОНОВ С ПОВЕРХНОСТЬЮ I
Введение
1.1. Эрозия и модификация поверхности при ионном облучении
1.1.1.Введени е.
1.1.2. Модели расчета.
1.1.3 Обсуждение
1.2. Взаимодействие фуллереиов с полимерами от
ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ ПРОБЛЕМ К АНАЛИЗУ ПОВЕРХНОСТИ.
1.2.1. В веде те.
1.2.2. Методики.
1.2.3. Образование кратеров на поверхности и десорбция молекул при облучении фуллеренами.
1.2.4. Проблемы анализа состава поверхности и профиля распределения по глубине
1.3. ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ И РАЗМЕРНЫЕ ЭФФЕКТЫ В РАСПЫЛЕНИИ
НАНОКЛАСТЕРОВ МЕТАЛЛОВ ПРИ БОМБАРДИРОВКЕ МЕДЛЕННЫМИ ИОНАМИ
1.3.1. Обратное рассеяние ионов поверхностью кластеров
1.3.2. Энергетическая и размерная зависимость коэффициента распыления кластера.
1.4. Особенности распыления нитридов и их компонент.
1.4.1. Введение.
1.4.2. Методика моделирования.
1.4.3. Обсуждение.
1.4.3.1. Коэффициент распыления.
1.4.3.2. Преимущественное распыление компонент нитридов
1.4.3.3. Средние энергии распыленных частиц.
1.4.3.4.Отношения средних энергий компонент нитридов
1.5. Выводы главы 1.
ГЛАВА 2. МЕТОДИКА МОЛЕКУЛЯРНО ДИНАМИЧЕСКОГО РАСЧЕТА ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ИОНОВ С ПОВЕРХНОСТЬЮ.
2.1. Введение.
2.2. Уравнение Ныотона
2.3. Интегрирование уравнения Ныотона.
2.3.1. Метод центральных разностей
2.3.2. Метод средней силы.
2.3.3. Алгоритм ЭйлераКоши.
2.3.4. Метод предикторкорректор
2.3.5. Алгоритм Верле.
2.3.6. Метод Нордзика.
2.4. Выбор временного шага. Методика учета траекторий.
2.5. Потенциалы взаимодействия
2.5.1. Потенциал БорнаМайера.
2.5.2. Потенциалы притяэсения
2.5.3. Нахождение параметров потенциала взаимодействия
2.5.4. Выбор потенциала взаимодействия при моделировании распыления.
2.6. Модель мишени
2.7. Выводы главы 2.
ГЛАВА 3. ОСОБЕННОСТИ РАСПЫЛЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛОВ 1РЭ С РАЗНЫМ СОДЕРЖАНИЕМ КОМПОНЕНТ.
3.1.Введени е.
3.2. Методика расчета.
3.3. Результаты и обсуждение
3.3.1. Закономерности распыления поликристаллов 1 и Рс1
3.3.1.1. Энергетическая зависимость коэффициентов распыления.
3.3.1.2. Зависимость распыления от угла падения облучающих ионов.
3.3.1.3. Пространственное распределение распыленных атомов
3.3.2. Распыление поликристаллов И1Рс1, М5Рс1 и Ы1Рс
3.3.2.1. Зависимость коэффициентов распыления от энергии ионов
3.3.2.2. Изменение распыления с углом падения ионов
3.3.2.3. Преимущественное распыление компонент.
3.3.2.4. Пространственное распределение распыленных частиц
3.4. Выводы главы 3.
ГЛАВА 4. ВЛИЯНИЕ СОСТАВА ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ МОНОКРИСТАЛЛА Ы1РО НА ПРОЦЕСС ЕГО РАСПЫЛЕНИЯ
4.1 .Введение.
4.2. Методика моделирования.
4.3. Результаты и обсуждение
4.3.1. Состав верхних слоев грани 1 монокристалла неупорядоченного соединения ШРс1.
4.3.2. Зависимость распыления моно и поликристалла Рс1 от энергии облучающих ионов.
4.3.3. Угловая зависимость распыления грани 1И1Рс1 для разного состава поверхностных слоев
4.3.4. Пространственное распределение эмитированных атомов V и Рс1 для неизменного состава грани 1 КЧРс1 и с учетом перестройки верхних слоев
4.4. Выводы ГЛАВЫ 4.
ГЛАВА 5. УГЛОВЫЕ И ТЕМПЕРАТУРНЫЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ РАСПЫЛЕНИЯ НИТРИДА БОРА.
5.1.Введени е.
5.2. Модель расчета.
5.3. Результаты и обсуждение
5.3.1. Изменение распыления поликристалла ВЫ с углом падения бомбардирующих ионов
5.3.2. Зависимость коэффициента распыления поликристалла ВИ от его температуры.
5.3.3. Температурная зависимость пространственного распределения частиц В гИ, распыленных из поликристалла ВИ
5.4. Выводы главы 5.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
БЛАГОДАРНОСТЬ.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922