Исследование межоперационных транспортирующих агрегатов с колесными носителями на пространственной трассе для процесса производства электронной техники

СОДЕРЖАНИЕ
Введение
Глава 1. Состояние вопроса и постановка задач исследования.
1.1. Научнотехнические проблемы и особенности производства полупроводниковых структу р
1.2. Обзор работ по теме исследования.
1.2.1. Транспортирование пластин при помощи СМИФконтейнеров
1.2.2. Туннельнотрековые системы транспортирования.
1.2.3. Транспортирование пластин при помощи пассиковых конвейеров сверхлег кие ленточные конвейеры.
1.2.4. Автоматические тележки.
1.3. Выбор рационального межоперационного транспортирующего средства для перемещения изделий Э Г. Формирование требований к транспортирующему средству, предназначенному для
работы на современных предприятиях микроэлектроники.
1.4. Объект исследования
1.5. Цели и задачи исследования.
Глава 2. Исследование геометрических и кинемат ических параметров транспортирующего агрегата
2.1. Общие замечания
2.2. Выбор геометрических параметров криволинейных участков направляющей в горизонтальной плоскости.
2.3. Параметры криволинейного участка направляющей в вертикальной плоскости, определяемые габаритными размерами носителя
2.4. Зависимости между геометрическими и кинематическими параметрами системы колесный носитель направляющая
2.5. Выбор геометрических параметров криволинейных участков в вертикальной плоскости, определяющих оптимальный контакт ведущего звена с направляющей
2.6. Итоги и выводы.
Глава 3. Исследование силового взаимодействия колесного носителя с пространственной направляющей.
3.1. Общие замечания
3.2. Определение усилий при взаимодействии носителя с направляющей бет учета податливостей обрезиненных колес
3.3. Определение усилий при конечных значениях податливостей обрезиненных колес
3.4. Определение усилий при конечных значениях податливостей обрезиненных колес и зазора между опорными колесами и элементами направляющей при действии веса бокса с переменной массой
3.5. Анализ влияния величин податливостей и зазора на параметры силового взаимодействия.
3.6. Анализ влияния жесткости пружины на параметры силового взаимодействия.
3.7. Определение суммарных сил сопротивления передвижению носителя .
3.8. Выбор мощности двигателя для колесного носителя
3.9. Итоги и выводы
Глава 4. Исследование элементов динамики привода колесного носителя.
Экспериментальное исследование параметров транспортирующего
агрегата.
4.1. Приведение массовых и силовых параметров
4.2. Составление уравнения движения колесного носителя.
4.3. Решение дифференциальных уравнений движения носителя.
4.4. Экспериментальное исследование параметров транспортирующего агрегата
4.4.1. Описание экспериментального макета транспортирующего агрегата
4.4.2. Определение реакций в опорах колес и усилия в пружине для трех случаев положений носителя относительно направляющей. Определение величин жесткости обрезиненных ободов колес носителя и анализ влияния реакции на
переменность жесткости.
4.4.3. Определение приведенных коэффициентов трения для опорных
колес и ведущего звена носителя.
4.4.4. Определение сопротивлений передвижению носителю на участках
направляющей
4.5. Итоги и выводы.
Глава 5. Разработка методики и технических норм для проектирования и эксплуатации транспортирующих агрегатов с колесными носителями на пространственной трассе.
5.1. Расчет интенсивности выброса загрязнений элементами транспортирующего аг регата с колесными носителями.
5.2. Методика и технические нормы для выбора рациональных параметров транспортирующих агрегатов с колесными носителями
на пространственной трассе
5.3. Итоги и выводы.
Результаты исследования и общие выводы гю работе.
Список литерату