СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
I. СОВРЕМЕННЫЕ МЕТОДЫ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТЕЙ ИНСТРУМЕНТОВ ДЛЯ УЛУЧШЕНИЯ ИХ ЭКСПЛУАТАЦИОННЫХ СВОЙСТВ
1.1. Место ионной имплантации в ряду упрочняющих технологий
1.2 Моделирование процессов взаимодействия имплантируемых ионов с обрабатываемыми материалами
1.2.1 Моделирование процесса имплантации
1.2.1.1 Механизмы потери энергии имплантируемыми ионами
1.2.1.2 Ядерное торможение иона в материале
1.2.1.3 Электронное торможение иона в материале
1.2.1.4 Распределение имплантируемых примесей в твердых телах
1.2.2 Радиационностимулированная диффузия примеси
1.2.3 Остаточные концентрационные напряжения
1.3. Требования к установкам для ионной имплантации в металлы
и сплавы
1.4. Выводы по главе I. Цель и задачи исследования
II. МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ИОНОВ С ОБРАБАТЫВАЕМЫМИ МАТЕРИАЛАМИ
2.1 Модель для расчета пробегов ионов под действием энергии имплантации
2.1.1 Расчет пробегов ионов методом МонтеКарло
2.1.2 Алгоритм расчета среднего проецированного пробега
2.1.3. Методика расчета распределения концентрации внедренных ионов по глубине материала
2.1.4. Расчет пробегов ионов азота для различных фаз инструментальных материалов
2.2 Моделирование распределения радиационных дефектов по глубине поверхностного слоя материала
2.2.1 Расчет среднего количества и распределения элементарных дефектов, создаваемых одним ионом
2.2.2 Методика расчета распределения радиационных дефектов
по глубине поверхностного слоя материала
2.3 Моделирование распределения внедренных ионов с учетом радиационностимулированной диффузии
2.4. Расчет остаточных концентрационных напряжений
2.4.1. Методика расчета остаточных концентрационных напряжений
2.4.2. Программное обеспечение для расчета остаточных концентрационных напряжений
2.4.3 Результаты расчета остаточных концентрационных напряжений
2.5. Выводы по главе II
III. МЕТОДИКА ЭКСШРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ
3.1 Экспериментальное оборудование
3.1.1 Разработка установки для ионной имплантации азота в инструментальные материалы на базе вакуумной установки ВУ1Б
3.1.2 Устройство и характеристики системы электропитания имплантационной установки
3.1.3 Разработка конструкции датчика ионного тока
3.2 Выводы по главе III
IV. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК ИНСТРУМЕНТ А ЛЬНЫХ МАТЕРИАЛОВ, ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ИОНАМИ АЗОТА
4.1. Исследование технологических возможностей установки для ионной имплантации азота в инструментальные материалы
4.2. Выбор технологических режимов имплантации азота в инструментальные стали
4.3. Исследование зависимости микротвердости образцов из стали Р6М5 от технологических режимов имплантации
4.4. Исследование износостойкости торцевых фрез, имплантированных ионами азота
4.5. Выводы по главе IV
ОБЩИЕ ВЫВОД1Л
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922