Разработка и исследование пьезорезистивных микроакселерометров для контроля виброускорений

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА 1. АНАЛИЗ МЕТОДОВ РАСЧЕТА И ПРОЕКТИРОВАНИЯ ПЬЕЗОРЕЗИСТИВНЫХ МИКРОАКСЕЛЕРОМЕТРОВ
1.1. Области применения и особенности эксплуатации
пьезорезистивных микроакселерометров.
1.2. Конструктивнотехнологические особенности
пьезорезистивных микроакселерометров.
1.3. Основные метрологические и механические параметры
пьезорезистивных микроакселерометров
1.4. Методы расчета и проектирования микроакселерометров .
1.5. Постановка цели и задач исследований
1.6. Выводы .
ГЛАВА 2. ИССЛЕДОВАНИЕ МЕХАНИЧЕСКИХ И МЕТРОЛОГИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ПЬЕЗОРЕЗИСТИВНЫХ МИКРО АКСЕЛЕРОМЕТРОВ
2.1. Моделирование механической системы и динамический
анализ микроакселерометра.
2.2. Расчет перемещений и деформаций чувствительного элемента консольного типа
2.3. Расчет основных метрологических характеристик
иьезорезистивного микроакселерометра
2.4. Расчет ударной прочности микроакселерометра.
2.5. Численное моделирование и оптимизация характеристик
микроакселерометра
2.6. Выводы
ГЛАВА 3. РАЗРАБОТКА И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПЬЕЗОРЕЗИСТИВНЫХ МИКРО АКСЕЛЕРОМЕТРОВ.
3.1. Разработка конструкций иьезорезистивных
микроакселерометров.
3.2. Экспериментальные исследования механических и
метрологических характеристик микроакселерометров балочного типа
3.3. Исследование демпфирующих характеристик
микроакселерометров.
3.4. Исследование температурных характеристик
микроакселерометров.
3.5. Исследования метрологических характеристик
микроакселерометров рамочного типа
3.6. Выводы.
ГЛАВА 4. МЕТОДИКИ ПРОЕКТНОГО РАСЧЕТА И РАЗРАБОТКА ОПЫТНЫХ ОБРАЗЦОВ МИКРОАКСЕЛЕРОМЕТРОВ.
4.1. Методика расчета механических и метрологических характеристик пьезорезистивных микроакселерометров .
4.2. Методика оптимизации параметров инерционной массы пьезорезистивных микроакселеромегров.
4.3. Методика выбора параметров жидкостного демпфера
4.4. Разработка опытных образцов пьезорезистивных микроакселеромегров
4.5. Выводы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ