Когерентно-ограниченные интерферометрические методы и системы контроля формы диффузных поверхностей

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
Глава 1. КОНТРОЛЬ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПОВЕРХНОСТИ ПРИНЦИПЫ, МЕТОДЫ, АППАРАТУРА
1.1. Основные определения и задачи.
1.2. Высококогерентные методы.
1.3. Методы геометрической оптики.
1.4 Когерентноограниченные интерфсрометрнческие методы контроля смещений и формы поверхности
1.5 Выводы
Глава 2. ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТРОЛОГИЧЕСКИХ ОСОБЕННОСТЕЙ ГЕОМЕТРИИ ОСВЕЩЕНИЯ
2.1. Спеклструктура и ее влияние на формирование интерференционного сигнала
2.1.1. Базовые модель интерференционного взаимодействия и
оптическая схема.
2.1.2 Амплитуда интерференционного сигнала
2.1.3. Влияние геометрии освещения на формирование
интерференционного сигнала.
2.2. Анализ интерференционного сигнала
2.2.1. Модель гипотетических источников индивидуальных спеклов
2.2.2. Метод площадей.
2.2.3. Метод дифференцирования огибающей
2.3. Выводы.
Глава 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ОТПИЧЕСКОГО ЩУПА ТРИГГЕРНОГО ТИПА
3.1. Оптические шупы сканирующего и триггерного типов.
3.2. Способы минимизации влияния спеклмодуляции на результаты измерений.
3.2.1. Дополнительная модуляция в опорном канале.
Оптимизация динамических параметров
3.2.2. Многоканальная регистрация. Уменьшение динамического диапазона интерференционного сигнала
3.2.3. Оптический щуп с микросканированисм контролируемой поверхности.
3.3. Выводы.
Глава 4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ СИСТЕМЫ
4.1. Описание экспериментальной установки.
4.2. Исследование метрологических характеристик.
4.2.1. Диапазон измерений.
4.2.2. Амплитуда информационного сигнала
4.2.3. Погрешность измерений
4.3. Использование когерентноограниченного оптическою щупа
в исследовании биологических объектов.
4.3.1. Измерение микрорельефа поверхности кожи
4.3.2. Томография подповерхностного слоя кожи.
4.4. Выводы.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА