Особенности концентрационных профилей при неизотермической диффузии в полупроводниках

СОДЕРЖАНИЕ
2.2. Эволюция гауссового концентрационного профиля в температурном поле
2.2.1. Решение уравнения термодиффузии для гауссова
источника в случае Е
2.2.2. Решение уравнения термодиффузии для гауссова источника в случае Е 2
2.3. Особенности поведения концентрационных профилей в температурном поле с постоянным градиентом
температуры.
Выводы.
3. ИССЛЕДОВАНИЕ РЕШЕНИЙ УРАВНЕНИЯ
ТЕРМОДИФФУЗИИ И ОПРЕДЕЛЕНИЕ ТЕПЛОТЫ
ПЕРЕНОСА.
3.1. Решения, учитывающие в нулевом приближении температурную зависимость термодиффузионных
коэффициентов.
3.1.1. Учет температурной зависимости коэффициента диффузии.
3.1.2. Учет температурной зависимости термодиффузионного фактора.
3.1.3. Совместный учет температурной зависимости коэффициента диффузии и термодиффузионного
фактора.
3.2. Влияние замены переменных х на вид решения, полученного в нулевом приближении.
3.3. Влияние подстановки V СхЛехр 1кТх и замены переменных х на вид концентрационного профиля в
переменных д х на вид концентрационного профиля в линейном приближении.
3.4. Анализ решения, полученного в линейном приближении, и
его аппроксимация для малых значений параметра Д
3.5. Способы определения теплоты переноса, учитывающие температурную зависимость коэффициента диффузии и
термодиффузионного фактора
3.5Л. Способы определения 3 в нулевом приближении
разложения функции 1Тх в ряд Маклорена
3.5.2. Способы определения 3 в линейном приближении
разложения функции 1Тх в ряд Маклорена
3.6. Теплота переноса как величина, влияющая на координатную зависимость энергетических характеристик процесса термодиффузии.
Выводы
4. ДИФФУЗИЯ ЛЕГИРУЮЩИХ ПРИМЕСЕЙ В КРЕМНИИ ПРИ
БЫСТРОМ НЕИЗОТЕРМИЧЕСКОМ ОТЖИГЕ.
4.1. Установка термоградиентной обработки пластин
4.2. Баланс тепла в облучаемой пластине
4.3. Диффузия бора, фосфора и мышьяка в кремнии при
4.3.1. Методика проведения эксперимента
4.3.2. Диффузия бора при БТО в секундном диапазоне
4.3.3. Диффузия фосфора при отжиге в секундном
диапазоне.
4.3.4. Диффузия фосфора и мышьяка при неизотермическом 7 отжиге в минутном диапазоне
ВВЕДЕНИЕ
Актуальность