Ви є тут

Исследование хемосорбционного взаимодействия при формировании приповерхностных легированных слоев в полупроводниках и пленок на их поверхности в технологических процессах диффузии и осаждения

Автор: 

Королев Алексей Николаевич

Тип роботи: 

докторская

Рік: 

1998

Кількість сторінок: 

169

Артикул:

1000242007

179 грн

Додати в кошик

• 
• 
• 

Рекомендовані дисертації

• Универсальный нейросетевой ускоритель для решения задач искусственного интеллекта
• Фотолюминесценция, спектры возбуждения и кинетика излучательной релаксации в эпитаксиальных кремниевых структурах, легированных эрбием
• Исследование и разработка технологии создания мемристоров на основе композитных материалов
• Электрофизическое диагностирование МДП-структур с неоднородно распределенными параметрами
• Автогенераторы на микрополосковых и объемных резонаторах с поликристаллическим ферритовым заполнением и магнитно-режективной перестройкой
• Исследование и разработка методов повышения производительности интегральных схем реконфигурируемых вычислительных систем
• Фасетирование при локальной твердофазной и молекулярно-лучевой эпитаксии кремния на кремнии
• Разработка и исследование эмиссионной среды для твердотельного автоэмиссионного диода на основе гетероструктуры кремний/алмаз
• Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы
• Исследование процессов низкотемпературного плазмостимулированного роста пленок диоксида циркония, стабилизированного иттрием