Ви є тут

Исследование хемосорбционного взаимодействия при формировании приповерхностных легированных слоев в полупроводниках и пленок на их поверхности в технологических процессах диффузии и осаждения

Автор: 

Королев Алексей Николаевич

Тип роботи: 

докторская

Рік: 

1998

Кількість сторінок: 

169

Артикул:

1000242007

179 грн

Додати в кошик

• 
• 
• 

Рекомендовані дисертації

• Фасетирование при локальной твердофазной и молекулярно-лучевой эпитаксии кремния на кремнии
• Термически- и радиационно-стойкие контакты металл-карбид кремния для приборов экстремальной электроники
• Разработка научных основ создания и совершенствования базовых элементов микроэлектроники и микросистемной техники методами приборно-технологического моделирования
• Оптимизация технологии процессов получения буферных слоев и защитных покрытий для фотоприемников на основе фосфида индия
• Самоорганизация многослойных металлургических структур для контактных систем суб-100 нм КМОП ИС
• Разработка и исследование интегрального гальваномагниторекомбинационного преобразователя : На основе кремния и карбида кремния
• Контролируемый газофазный синтез наноструктур для наноэлектроники, фотоники и микросистемной техники
• Физические свойства и механизмы формирования низкоразмерных кремниевых структур во фторсодержащих средах
• Исследование и разработка методов повышения производительности интегральных схем реконфигурируемых вычислительных систем
• Структурные и физические свойства пленок SiCx и SnOx, синтезированных различными методами