Вы здесь

Исследование хемосорбционного взаимодействия при формировании приповерхностных легированных слоев в полупроводниках и пленок на их поверхности в технологических процессах диффузии и осаждения

Автор: 

Королев Алексей Николаевич

Тип работы: 

докторская

Год: 

1998

Количество страниц: 

169

Артикул:

1000242007

179 грн

Добавить в корзину

• 
• 
• 

Рекомендуемые диссертации

• Универсальный нейросетевой ускоритель для решения задач искусственного интеллекта
• Неразрушающие высоколокальные методы электронно-зондовой диагностики приборных структур микро- и наноэлектроники
• Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов
• Интегральные полупроводниковые матричные преобразователи магнитного поля
• Исследование оптических свойств зонных пластинок Френеля из кремния для осевой геометрии
• Моделирование и схемотехника СВЧ-транзисторного генератора с невзаимным элементом в цепи обратной связи
• Широкоспектральные квантовые приборы обнаружения теплоизлучающих объектов
• Методы зондовой диагностики микроструктур
• Исследование процессов низкотемпературного плазмостимулированного роста пленок диоксида циркония, стабилизированного иттрием
• Электрофизические свойства и оптимизация параметров эпитаксиальных псевдоморфных НЕМТ структур с односторонним и двухсторонним дельта - легированием