Введение
I Глава.
1 Автоэмиссия принцип работы устройств на основе УНС.
2 Свойства углеродных наноматериалов и их применение.
2.1 Графен
2.2 Углеродные нанотрубки и нанонити
2.2.1 Автоэмиссионные свойства УНТ
3 Методы получения УНС
3.1 Методы получения графена
3.2 Методы получения УНТ
3.2.1 Электродуговой метод распыления графита.
3.2.2 Метод лазерного испарения графита.
3.2.3 СУЭ методы
3.3 Выводы по методам получения УС
4 Модель каталитического роста У НТ
5 Применение УНС настоящее положение дел и перспектива
II Глава
1 Физикоматематическая модель формирования УНТЗI
1.1 Формирование наноразмерных областей катализатора.
1.1.1 Постановка задачи.
1.1.2 Динамика массоиереноса вещества в пленке
1.1.3 Некоторые замечания по предложенной модели
1.2 Процесс формирования реагентов для роста УНТ.
1.3 Процесс диффузии углерода и формирования зародышевых областей в капле
катализатора.
1.4 Рост углеродных нанострутур.
1.5 Выводы
III Глава.
1 Установка Алмаз1 для роста УНС
1.1.1 Описание установки Алмаз1 для роста УНС
1.1.2 Основные технические характеристики установки Алмаз1.
1.1.3 Состав установки Алмаз1
1Л .4 Основные принципы работы установки
1Л .5 Модернизация отдельных узлов Алмаз1
1.2 Организация контроля процесса роста на установке Алмаз1
1.2.1 Контроль процесса по величине ионного тока
1.2.2 Кот роль разложения СН4 в плазме с помощью детектирования уровня
водорода в реакторе.
2 Отработка технологических режимов формирования наноразмерных
каталитических областей из сплошных пленок
2.1 Выбор архитектуры пленочной структуры для катализа УИС
2.2 Схема проведения исследования.
2.3 оиск и отработка технологических параметров получения каталитических
областей
3 Поиск и отработка технологических параметров роста УИС.
3.1 Используемая архитектура пленочной структуры для роста УНС
3.2 Результаты технологических исследований по росту УИС
3.2.1 Углеродные нанокопусы.
3.2.2 Смесь наноперьев и наноконусов
3.2.3 Графеновые перья
3.2.4 Углеродные нанокластеры.
4 Выводы.
IV Глава
1 Исследования структуры и поверхности образцов.
1.1 Исследование топологии поверхности образцов с помощью АСМ
1.2 Исследование морфологии поверхностей с помощью РЭМ.
1.3 Исследование свойств экспериментальных образцов с помощью ПЭМ
1.4 Исследование состава структур с помощью Ожеспектроскопии
2 Исследование злекрофизических характеристик экспериментальных образцов
автоэмитгеров.
2.1 Стенд для измерения ВАХ автоэмиссии из УНС.
2.2 Экспериментальные образцы с активным слоем из массива углеродных
наноконусов.
2.3 Экспериментальные образцы с активным слоем из массива углеродных наноперьев
2.4 Экспериментальные образцы со смешанным слоем углеродных наноконусов и перьев
3 Анализ полученных результатов
3.1 Анализ результатов исследования образования каталитических нанокластеров.
3.2 Анализ результатов роста УС.
3.3 Качественная модель, объясняющая зависимость роста У НС от ноля
V Глава
1 Практическое применение разработанных технологических режимов роста УИС
1.1 Реализация гибридного варианта.
1.2 Реализация в планарных схемах
1.2.1 Технологический маршрут изготовления планарных автоэмиссионных
1.2.2 Результаты роста УНС на планарных схемах
1.2.3 Предложения по решению проблем, возникших при росте УНС на приборных планарных схемах
2 Технологические и экономические параметры.
Основные результаты и выводы.
Приложение
Научные положения и результаты, выносимые на защиту
Благодарности.
Список публикаций по теме диссертации
Список цитируемой литературы
- Київ+380960830922