ВВЕДЕНИЕ
Глава 1. Концепция прибора электронный нос и разработка полупроводниковых хеморезисгоров.
1.1. Биологическая обонятельная система.
1.2. Формирование приборов электронный нос
1.2.1. Мультисенсорные системы
1.2.2. Методы распознавания образов.
1.3. Хеморезистивный эффект в полупроводниках и его применение
в газовых сенсорах
1.3.1 Влияние адсорбции газов на электрические свойства полупроводниковых слоев.
1.3.2. Влияние микроструктуры на гокоперенос в газочувствительных полупроводниковых слоях.
1.3.3. Материалы для изготовления хеморезистивных полупроводниковых сенсоров.
1.3.4. Технологии изготовления и конструкции полупроводниковых сенсоров.
Выводы к Главе 1
Глава 2. Дискретные хеморсзистивныс датчики газа из тонких пленок 8пС2Си и мультисенсорные системы на их основе
2.1. Изготовление и характеризация свойств тонких пленок оксида олова для формирования датчиков газа.
2.1.1. Характеризация свойств тонких пленок БлОг
2.1.2. Характеризация свойств тонких пленок БпССи.
2.2. Влияние газов окислительного и восстановительного типов на проводимость тонкой пленки БпССи.
2.2.1. Экспериментальное исследование воздействия газов раз
ных типов на проводимость пленок .
2.2.2. Теоретический анализ воздействия газов разных типов на проводимость пленок в рамках электронной теории адсорбции Волькенштейна
2.3. Дискретный газовый сенсор на основе пленки , изготовленный групповыми методами микроэлектроники, и его применение для анализа состава окружающей среды.
2.4. Формирование и исследование отклика мультисенсоргых систем из дискретных датчиков на основе пленки
Выводы к Главе 2.
Глава 3. Формирование однокристальных мультисенсорных микросистем на основе тонкой пленки оксида олова
3.1. Применение пространственнонеоднородного теплового нагрева для дифференциации газочувствительных свойств сенсорных сегментов пленки в составе однокристальных мультисенсорных микросистем
3.2. Применение мембранного покрытия i для дифференциации газочувствительных свойств сенсорных сегментов пленки 12. в составе однокристальных мультисенсорных микросистем
3.3. Применение наноструктурированной пленки неоднородной толщины в составе однокристальных мультисенсорных микросистем.
3.3.1. Изучение физических свойств пленок
3.3.2. Изучение электрических и газочувствительных свойств пленок Си
3.3.3. Применение различных методов распознавания образов для обработки сигнала мультисенсорной микросистемы на основе пленки .
3.4. Применение вариации электрического потенциала вдоль по
верхности пленки ЭпОг для формирования мультисенсорного сигнала
Выводы к Главе 3.
Глава 4. Формирование мультисенсорпых микронаносистем на основе оксидных нановолокон
4.1. Мультисенсорные системы на основе набора индивидуальных нановолокон из различных оксидов
4.2. Мультисенсорные микросистемы на основе матриц нановолокон 8пОг
4.2.1. Формирование и газочувствительные свойства матриц нановолокон ЭпОг в составе мультисенсорпых микросистем
4.2.2. Исследование стабильности газочувствительных свойств матриц нановолокон ЗпОг в составе мультисенсорных микросистем.
4.3. Мультисенсорные микронаносистемы на основе индивидуального мезонановолокна БпСЬ
4.3.1. Мультисенсорные микронаносистемы на основе индивидуального мезонановолокна ЭпОг, сегментированного наноэлектродами
4.3.2. Мультисенсорные микронаносистемы на основе индивидуального мезонановолокна БпОг, сегментированною полосковыми микроэлектродами в рамках групповых методов
Выводы к 1 лаве 4
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922