Несамостоятельный тлеющий разряд с полым катодом для азотирования титана

Оглавление
Оглавление.
Введение.
Глава 1 Методы азотирования титана
1.1. Г азовое азотирование
1.2. Азотирование в плазме тлеющего разряда.
1.3. Ионная имплантация.
1.4. Лазерное азотирование
1.5. Азотирование в плазме дугового разряда.
1.6. Выводы.
Глава 2 Генераторы низкотемпературной плазмы на основе разряда
низкого давления с полым катодом
2.1. Описание установки и ее основных узлов.
2.2. Генератор плазмы на основе дугового разряда с полым катодом
2.2.1. Параметры плазмы в полом аноде.
2.2.2. Поступление материала катода в анодную полость.
2.3. Генератор плазмы с составным катодом.
2.4. Генератор плазмы на основе несамостоятельного тлеющего разряда с полым катодом.
2.5. Выводы.
Глава 3 Азотирование титана.
3.1. Азотирование технического титана в плазме несамостоятельного тлеющего разряда с полым катодом
3.2. Влияние состава смеси рабочего газа на процесс азотирования титана в несамостоятельном тлеющем разряде низкого давления
3.3. Выводы .
Заключение
Список литературы