Моделирование формирования глубоких канавок в кремнии в Bosch-процессе

Оглавление
СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ОБЗОР МЕТОДОВ И СИСТЕМ МОДЕЛИРОВАНИЯ ФОРМИРОВАНИЯ
МИКРОСТРУКТУР В КРЕМНИИ В ПРОЦЕССАХ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ И ОСАЖДЕНИЯ.
1.1. Предмет и уровни моделирования. Общее представление о структуре модели
1.2. Классификация алгоритмов и методов моделирования
1.2.1. Математические способы расчета потоков частиц плазмы
1.2.2. Способы представления профиля поверхности и его модификации
1.3. Описание и эволюция существующих подходов и систем моделирования
1.4. Постановка задачи.
ГЛАВА 2. ПРЕДЛАГ АЕМЫЙ МЕТОД МОДЕЛИРОВАНИЯ
2.1. Схема и краткое описание алгоритмов метода
2.2. Представление профиля поверхности методом ячеек.
2.2.1. Расчт поверхностных реакций
2.2.2. Расчт атомного баланса в клетках.
2.2.3. Алгоритмы удаления старых и добавления новых клеток.
2.3. Математические основы метода
2.3.1. Генерация потоков частиц плазмы.
2.3.2. Организация и представление данных модели.
2.3.3. Построение цепочки поверхностных клеток.
2.3.4. Вычисление точки пересечения частицы плазмы с поверхностью
2.3.5. Аппроксимация клеточной поверхности и е влияние на формирование профиля канавки.
2.3.6. Отражение частиц от поверхности.
ГЛАВА 3. МОДЕЛИРОВАНИЕ ТРАВЛЕНИЯ ГЛУБОКИХ КАНАВОК В ВОБСН
ПРОЦЕССЕ
3.1. Описание циклического двухстадийного процесса глубокого травления в БГбСдЕзплазме
3.2. Модели травления кремния и ФУП в плазме БИб.
3.2.1. Травление кремния и ФУП радикалами фтора.
3.2.2. Ионностимулированное травление ФУП фтором.
3.3. Модель осаждения ФУП
3.3.1. Химическое осаждение ФУП.
3.3.2. Ионностимулированное осаждение ФУП
3.4. Размеры клетки и пределы плотности для создания и удаления клеток
3.5. Направленное травление, критический угол.
3.6. Механизм зеркального отражения ионов.
3.7. Моделирование глубокого травления кремния в ВоясИпроцессе. Сравнение с экспериментом.
3.7.1. Параметры моделирования.
3.7.2. Калибровка модели.
3.7.3. Эксперимент. Сравнение результатов моделирования с экспериментальными данными
ГЛАВА 4. МОДЕЛИРОВАНИЕ ЭФФЕКТОВ ФОРМИРОВАНИЯ И УПРАВЛЕНИЕ
ПРОФИЛЕМ ГЛУБОКИХ КАНАВОК В ВОБСНПРОЦЕССЕ
4.1. Зависимость профиля канавки от частоты циклов Воясйпроцесса
4.2. Анализ чувствительности модели к продолжительности стадии осаждения и вероятностям реакций
4.3. Моделирование канавок с разным наклоном стенок.
4.4. Управление профилем канавок
4.5. Моделирование эффектов аспекгпозависимого и аспектнонезависимого травления кремния.
4.6. Моделирование эффекта возникновения микроигл на поверхности кремния .
ГЛАВА 5. ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ ПРЕДЛОЖЕННОЙ МОДЕЛИ.
5.1. Программный комплекс моделирования.
5.2. Интерфейс пользователя и требования к программе
5.3. Представление данных модели в памяти и оптимизация быстродействия вычислений
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ИЛЛЮСТРАЦИЙ
СПИСОК ТАБЛИЦ.
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ЛИТЕРАТУРНЫХ источников
Литература