СОДЕРЖАНИЕ
Введение.
1. Классификация неразрушающих электрических методов контроля параметров материалов .
1.1. Электроемкостный метод .
1.2. Электропотенциальный метод .
1.3. Метод электрического сопротивления .
1.4. Другие методы электрического контроля
1.5. Выводы .
2. Электроемкостный метод исследования распределений плотности заряда и параметров диэлектриков, полупроводников и композитов
2.1. Общие вопросы теории метода
2.2. Аппаратная функция и ее определение
2.3. Погрешности преобразования зарядового и потенциального распределения в электрический сигнал с помощью электроемкостных систем
2.4. Многопараметровые электроем костные системы
2.5. Выводы .
3. Экспериментальная установка для исследования однородности электрических свойств диэлектрических, полупроводниковых и композиционных слоистых структур .
3.1. Обобщенная структурная схема .
3.2. Особенности конструкции основных элементов
3.3. Методические аспекты применения .
3.3.1. Оценка распределения поверхностной плотности электрического заряда вдоль траектории сканирования .
3.3.2. Оценка диэлектрической проницаемости
3.4. Тестовые структуры
3.4.1. Потенциальные тесты .
3.4.2. Тесты но диэлектрической проницаемости .
3.4.3. О чувствительности емкостных систем.
3.5. Выводы .
4. Экспериментальные результаты .
4.1. Электризация неоднородных слоев в поле коронного разряда . .
4.2. Исследование однородности электрических свойств несовершенных диэлектриков при создании продольного электростатического поля .
4.3. Исследование однородности электрических свойств низкоомных полупроводниковых и композиционных материалов .
4.4. Принципиальные вопросы дефектоскопии диэлектрических, высокоомных полупроводниковых и композиционных слоев
4.5. Выводы .
Заключение
Список литературы
- Київ+380960830922