Совершенствование и применение ионно-лучевой технологии субмикронной пассивации металлов для безрезистной литографии и защиты от коррозии

Содержание
Введение
Перспективы применения ионнолучевых методов для повышения коррозионной и химической стойкости металлов.
1.1 Литературные данные о коррозионной и химической стойкости имплантированных материалов
1.2 Вклад эффектов химического легирования.
1.3 Роль структурнохимических превращений.
1.4 Влияние изменений свойств поверхности
1.5 Управление структурнохимическими свойствами материалов ионнолучевой обработкой.
Выводы.
Экспериментальные исследования физикохимических характеристик ионноимплантированной меди, хрома, алюминия, титана.
2.1 Аппаратура и методика эксперимента.
2.2 Физикохимические характеристики ионноимплантированных тонких металлических слоев
2.3 Физикотехнологические особенности ионнолучевой обработки толстых слоев меди.
2.4 Технологические характеристики ионноимплантированных слоев
Выводы.
Механизмы влияния ионной имплантации на химическую активность металлических слоев
3.1 Роль процессов поверхностной полимеризации.
3.2 Модель объемных наноструктурных химических пассивирующих превращений в имплантированных металлах
3.3 Сопоставление моделей с экспериментальными результатами
3.4 Анализ имеющихся технологических ограничений пассивирующей
ионнолучевой обработки
Выводы.
Технологическая апробация процессов ионнолучевой модификации материалов микроэлектроники
4.1 Ионнолучевая технология пассивных твердотельныхэлсментов.
4.1.1 Лучевая технология изготовления металлических резисторов ИС
4.1.2 Формирование межслойных конденсаторов ионнолучевой обработкой .
4.1.3 Применение ионной имплантации аргона при изготовлении датчиков Холла
4.1.4 Способ ионнолучевой защиты поверхности микроэлектронных изделий от внешних химических воздействий, коррозии, локализации
гальванического осадка
4.2 Наноструктурная ионнолучевая модификация титана для изделий медицинского назначения.
4.2.1 Исходная постановка задачи и граничные условия
4.2.2 Применение ионной имплантации аргона при создании ультрадисперсной наномодифицированной структуры поверхности титановых
имплантатов
Заключение
Список использованной литературы