Содержание
Аннотация
Введение
Глава 1. Основные уравнения модели магнетронного разряда в режиме постоянного тока
1.1. Стационарные уравнения компонент плазмы магнетронного разряда .
1.1.1. Электронная компонента
1.1.2. Ионная компонента в бесстолкновитсльном приближении
1.2. Выбор метода решения уравнений разряда.
1.2.1. Уравнения магнетронного разряда в режиме постоянного тока
1.2.2. Разбиение разрядного промежутка как основа метода решения уравнений магнетрон нот разряда
Глава 2. Трехслойная модель магнетронного разряда в режиме постоянного тока
2.1. Основные принципы трехслойной модели разряда.
2.2. Анодный слой.
2.2.1. Приближение постоянных частот столкновений.
2.2.2. Анодный слой холодных электронов. Условия на катодной границе.
2.3. Катодный слой
2.3.1. Бесстолкновительный катодный слой ионов
2.3.2. Решение статической задачи .
2.3.3. Влияние электронной компоненты на характеристики катодного слоя
Глава 3. Стационарные состояния магнетронного диода
3.1. Режим катодного падения потенциала.
3.1.1. Анализ решения для статического бесстолкновительного слоя ионов.
3.1.2. Бесстолкновительный слой ионов в режиме ограничения тока пространственным зарядом
3.1.3. Ионизация в прикатодной области.
3.2. Режим анодного слоя
3.2.1. Общие свойства анодного слоя в неоднородном магнитном поле.
3.2.2. Статический анодный слой в постоянном магнитном поле
3.2.3. Структура и характеристики статического анодного слоя
3.3. Магнетронный разряд в режиме постоянного тока при однородном магнитном поле
3.4. Экспериментальное исследование разряда в .
3.4.1. Схема и краткое описание эксперимента.
3.4.2. Определение напряжения зажигания
3.4.3. Колебания тока сильноточной формы магнетронного разряда
Глава 4. Особенности плазмы магнетронного разряда
4.1. Постановка задачи.
4.2. Неограниченная плазма.
4.2.1. Оператор кинетического уравнения .
4.2.2. Модели столкновений частиц в плазме.
4.2.3. Ионы плазмы в бесстолкновительном приближении . . .
4.3. Уравнения модели двухкомпонентной плазмы в скрещенных статических полях
4.3.1. Оператор кинетического уравнения электронов в области скрещенных полей
4.3.2. Граничные условия для электронной компоненты
4.4. Электронный бесстолкновительный газ в однородных статических скрещенных полях.
4.5. Функция распределения ионной компоненты магнетронной плазмы .
4.6. Алгоритм численного решения уравнений модели.
Глава 5. Электромагнитные свойства плазмы в скрещенных статических электрическом и магнитном полях
5.1. Материальные параметры плазмы
5.1.1. Модель плазмы. Движение носителей заряда.
5.1.2. Материальные параметры плазмы в сонаправленных нолях .
5.2. Распространение плоских волн.
Заключение
Приложение 1
Приложение 2
Литература
- Киев+380960830922