Вы здесь

Низкоэнергетическое травление в пучково-плазменном разряде как метод создания материалов и структур наноэлектроники

Автор: 

Песков Вадим Вячеславович

Тип работы: 

Кандидатская

Год: 

2012

Артикул:

1005458235

179 грн

Добавить в корзину

• 
• 
• 

Рекомендуемые диссертации

• Энергетические спектры рентгеноэлектронной эмиссии и обратнорассеянных электронов
• Неупругие процессы при столкновениях релятивистских структурных тяжёлых ионов с атомами
• Исследование параметров локальных центров в полупропроводниковых структурах методами растровой электронной микроскопии
• Математическое моделирование электронных пушек с катодом произвольной формы
• Оптическая накачка и самонакачка атомов ксенона, серебра и кадмия
• Взаимодействие электронного потока с полем циркулярно поляризованных мод ТМ110 и Тм210 в резонаторах гирокона и магникона
• Торможение и потери энергии при столкновениях тяжёлых структурных ионов с молекулами
• Фомирование импульсных объемных газовых разрядов с ультрафиолетовой и рентгеновской предионизацией
• Эмиссия фотонов при взаимодействии электронов и ионов с поверхностью металлов
• Радиационная стойкость нитридов металлов к ионам и электронам низких энергий