Математическое моделирование процесса образования пленочных структур на подложках

ОГЛАВЛЕНИЕ
СПИСОК ОСНОВНЫХ ОБОЗНАЧЕНИЙ.
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. АНАЛИТИЧЕСКИЙ ОБЗОР ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ И ТЕОРЕТИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЙ ПРОЦЕССА ОБРАЗОВАНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК
1.1. Обзор экспериментальных данных по диффузии в твердых телах
1.2. Полуэмпирическое уравнение диффузии.
1.3. Корректная постановка задач и методы их решения.
Выводы по первой главе.
ГЛАВА 2. МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ДИФФУЗИОННОГО РОСТА ТОНКИХ ПЛЕНОК НА ПОДЛОЖКАХ
2.1. Построение математической модели диффузионного роста тонкой пленки на подложке
2.2. Разрешимость математической модели диффузии в процессе роста тонкой пленки
2.3. Математическая модель диффузии вещества в различных соприкасающихся средах.
2.4. Численные расчеты по предложенным моделям.
Выводы по второй главе
ГЛАВА 3. ЭКОНОМИКОМАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОИЗВОДСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК
3.1. Экономикоматематическая модель объемов производства
тонких пленок.
3.2. Экономикоматематическая модель объемов производства
тонких пленок с учетом затрат на их производство
Выводы по третьей главе.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ