Развитие методов атомно-силовой микроскопии для контроля электрических и электрофизических параметров объектов микроэлектроники

Введение.
Глава 1. Анализ современных зондовых методов диагностики электрического потенциала поверхности гетерогенных объектов.
1.1 Электроннозондовая микроскопия
1.2 Атомносиловая микроскопия
1.2.1 Контактная атомносиловая микроскопия.
1.2.2 Колебательные методики атомносиловой микроскопии.
1.2.3 Полуконтактный метод атомносиловой микроскопии.
1.2.4 Микроскопия электростатических сил
Глава 2. Методики измерения электрического потенциала на поверхности гетерогенных объектов.
2.1 Измерение электрического потенциала в электроннозондовом тестере
2.1.1 Устройство эиергоанализатора
2.1.2 Проведение стробоскопических измерений электрического потенциала в электроннозондовом тестере.
2.2 Аппаратура для контроля электрического потенциала поверхности гетерогенных объектов на основе электроннозондового тестера
2.3 Измерение электрического потенциала методом атомносиловой микроскопии.
2.4 Аппаратура для контроля электрического потенциала поверхности гетерогенных объектов на основе атомносилового микроскопа
2.5 Формирование тестовых структур и подготовка гетерогенных объектов для проведения измерений методами электроннозондовой и атомносиловой микроскопии.
2.5.1 Описание тестовых структур
2.5.2 Подготовка гетерогенных объектов для анализа с помощью электроннозондовой и атомносиловой микроскопии.
2.5.2.1 Технологические методы удаления корпусов микросхем, защитноизолирующих и металлических покрытий.
Глава 3. Исследование зондовыми методами гетерогенных объектов.
3.1 Измерение электрофизических параметров различных материалов и структур методами атомносиловой микроскопии.
3.1.1 Измерение работы выхода различных материалов.
3.1.2. Измерение типа проводимости.
3.1.3 Расчет концентрации электрически активных примесей.
3.2 Измерение электрического потенциала на поверхностях и сколах
многослойных структур
Глава 4. Измерение логического состояния микросхем памяти.
4.1 Виды микросхем памяти.
4.2 Оценка чувствительности и локальности методов электростатической силовой микроскопии и зонда Кельвина
4.3 Методика определения логического состояния ячеек памяти и
.
Выводы по работе
Список литературы