СОДЕРЖАНИЕ
СОКРАЩЕНИЯ И УСЛОВНЫЕ ОБОЗНАЧЕНИЯ.
ВВЕДЕНИЕ
ф I. СКАНИРУЮЩИЕ ЗОНДОВЫЕ МИКРОСКОПЫ. КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ
II. СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ НАНОИНДУСТРИИ В РОССИИ В ПРИМЕНЕНИИ К СЗМ
II. 1. Нанотехнологическая установка Луч2.
.2. Установка .
.3. Установка СММ
.4. Микрозондовая приставка высокого разрешения для растровых электронных микроскопов МПРРЭМ31.
.5. Установка I 0
.6. Вакуумный СЗМ комплекс .ЗО
.7. СЗМ комплекс температурных измерений .
И.8. СЗМ v V.
И.9. Выводы по главе.
III. АНАЛИЗ СЗМ, РАБОТАЮЩИХ В УСЛОВИЯХ НИЗКИХ ТЕМПЕРАТУР. ОСНОВНЫЕ ПОДХОДЫ, ИСПОЛЬЗУЕМЫЕ ПРИ РАЗРАБОТКЕ ДАННОГО ВИДА ОБОРУДОВАНИЯ
III. 1. Установки, в которых ступень расположена в вакуумной камере.
III.2 Установки, в которых ступень расположена в сосуде Дыоара
1.3. Серийно выпускаемые сверхвысоковакуумные СЗМ.
1.4. Выводы по главе.
IV. РАЗРАБОТКА КОНСТРУКЦИИ УСТАНОВКИ.
IV.1. Необходимые условия для проведения эксперимента
IV.2. Состав оборудования установки. Принципиальная схема
IV.3. Тестирование сканера при атмосферном давлении и комнатной температуре. Сравнение
результатов с результатами, полученными на аналогичном оборудование
IV.4. Итоги
V. ПОДГОТОВКА ОБРАЗЦОВ.
Выводы по главе.
VI. РАСЧЕТ ВАКУУМНОЙ СИСТЕМЫ И СИСТЕМЫ КРИОСТАТИРОВАНИЯ
VI. 1. Тепловой расчет.
VI.2. Вакуумный расчет установки.
VI.2.1 Упрощенный вакуумной расчет по аналитическим соотношениям
VI.2.2. Численный вакуумный расчет
VI.3. Выводы по главе.
VII. ВЫВОДЫ ПО РАБОТЕ
ПРИЛОЖЕНИЕ 1. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИЗУЧЕНИЕ КРИОСОРБЦИОННОГО МЕТОДА ПОЛУЧЕНИЯ СВЕРХВЫСОКОГО ВАКУУМА
П1.1. Практические проблемы при реализации криосорбционного метода откачки.
ПРИЛОЖЕНИЕ 2. АНАЛИТИЧЕСКИЕ СООТНОШЕНИЯ ДЛЯ РАСЧЕТА
ОСЕСИММЕТРИЧНЫХ СИСТЕМ.
П2.1. Основы вывода аналитических соотношений
П2.2. Аналитические соотношения, полученные в работе.
ПРИЛОЖЕНИЕ 3. АНАЛИТИЧЕСКИЙ ВАКУУМНЫЙ РАСЧЕТ.
ПРИЛОЖЕНИЕ 4. ТЕПЛОВОЙ РАСЧЕТ СИСТЕМЫ
ЛИТЕРАТУРА
- Киев+380960830922