СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
Глава 1 ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ИНТЕГРАЛЬНЫХ
ДАТЧИКОВ КОНЦЕНТРАЦИЙ ГАЗОВ
1.1 Состояние современных разработок в области
газоанализа
1.2 Перспективные конструкции металлооксидных
чувствительных элементов.
1.3 Газочувствительные металлооксидные материалы
1.4 Способы обеспечения селективности
1.5 Выводы
Глава 2 ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЧЭ НА ОСНОВЕ
ТОЛСТЫХ ПЛЕНОК ДИОКСИДА ОЛОВА
2.1 Физические свойства диоксида олова.
2.2 Модели, описывающие электропроводность БпОг в
присутствии газов восстановителей
2.3 Изготовление МЧЭ.
2.4 Исследование состава полученных толстых пленок ЬпОг
2.5 Теплофизические параметры МЧЭ выполненного по
толстопленочной технологии.
2.6 Выводы
Глава 3 ЭКСЕРИМЕНТАЛБНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ
ХАРАКТЕРИСТИК МЧЭ
3.1 Средства экспериментальных исследований
метрологических свойств МЧЭ
3.2 Стабильность и воспроизводимость металлооксидного
чувствительного слоя.
3.3 Воздействие на 8пРс1 газов восстановителей
3.4 Воздействие на 8пРс1 газов окислителей
3.5 Чувствительность МЧЭ к аммиаку.
3.6 Влияние влажности на работу МЧЭ.
3.7 Тсрмокондуктометрические измерения.
3.8 Обсуждение результатов
3.9 Выводы.
1 лава 4 АНАЛИЗ МЕХАНИЗМОВ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ К
ВОДОРОДСОДЕРЖАЩИМ ГАЗАМ И МОНООКИСИ
УГЛЕРОДА.
4.1 Механизм адсорбции кислорода.
4.2 Физикохимическая модель чувствительности МЧЭ БпОг
легированного Р к газам Н2, СРЦ, СО в воздушной смеси при импульсном воздействии температуры
4.3 Механизмы деградаций под воздействием
серосодержащих газов.
4.4 Природа возникновения шумовых эффектов в
газочувствительном слое 8п
4.5 Аспекты практического применения методики селективного измерения газов СН4Н2СО в воздушной смеси
4.6 Выводы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Киев+380960830922