Структура аморфних напівпровідників системи Ge-Sb-Se

ЗМІСТ
ПЕРЕЛІК ВИКОРИСТАНИХ У РОБОТІ СКОРОЧЕНЬ
ВСТУП………………………………………………………………………
РОЗДІЛ 1. ОГЛЯД ЛІТЕРАТУРИ
1.1. Здатність до утворення аморфного стану речовин системи Ge-Sb-Se
1.2. Діаграми стану та область склоутворення в системі Ge-Sb-Se
1.3. Структура речовин у різних агрегатних станах у системі Ge-Sb-Se
Висновки до
розділу 1.
РОЗДІЛ 2. ТЕХНОЛОГІЯ ОТРИМАННЯ ТОНКИХ АМОРФНИХ ПЛІВОК ТА МЕТОДИКА ДОСЛІДЖЕНЬ ЇХ
СТРУКТУРИ
2.1. Технологія отримання тонких аморфних плівок
2.2. Рентгеноспектральний мікроаналіз хімічного складу досліджуваних матеріалів
2.3. Аналіз складу паро-плазмових потоків при конденсації аморфних плівок
системи Ge-Sb-Se
2.4. Методика електронномікроскопічних досліджень мікроструктури та
наноструктури аморфних плівок
2.5. Методика електронографічних досліджень та нормування кривих інтенсивності
розсіювання електронів
Висновки до
розділу 2.
РОЗДІЛ 3. СТРУКТУРА АТОМНОЇ СІТКИ АМОРФНИХ ПЛІВОК СИСТЕМИ Ge-Sb-Se
3.1. Ближній порядок аморфних плівок Ge-Sb-Se
3.1.1. Аморфні плівки подвійної системи Ge-Sb
3.1.2. Аморфні плівки подвійної системи Sb-Se
3.1.3. Аморфні плівки подвійної системи Ge-Se
3.1.4. Аморфні плівки системи Ge-Sb-Se потрійних складів
3.2. Проміжний порядок в аморфних плівках системи Ge-Sb-Se
3.3. Аналіз факторів, що сприяють утворенню аморфного стану в системі Ge-Sb-Se
Висновки до
розділу 3.
РОЗДІЛ 4. МІКРОСТРУКТУРА ТА НАНОСТРУКТУРА АМОРФНИХ ПЛІВОК СИСТЕМИ Ge-Sb-Se
4.1. Області формування фазовооднорідних аморфних плівок з мікроструктурою,
близькою до однорідної
4.2. Формування двохфазних нанооднорідних аморфних плівок
4.3. Області формування нанонеоднорідних аморфних плівок
Висновки до
розділу 4.
ВИСНОВКИ
Додаток А. Найважливіші властивості стекол системи Ge-Sb-Se
Додаток Б. Електронномікроскопічні зображення аморфних плівок з однорідною
наноструктурою
Додаток В. Електронномікроскопічні зображення нанооднорідних двофазних аморфних
плівок
Додаток Г. Електронномікроскопічні зображення аморфних плівок з неоднорідною
наноструктурою
Додаток Д. Промікрофотометровані електронномікроскопічні знімки аморфних плівок
системи Ge-Se товщиною – нм
Додаток Е. Електронномікроскопічні зображення особливостей нано- та
мікроструктури аморфних плівок системи Ge-Sb-Se
СПИСОК