СОДЕРЖАНИЕ
Актуальность работы.
Основные цели и задачи работы.
Выносимые на защиту результаты
Научная и практическая значимость работы
Глава 1. Состояние исследований по захвату изотопов водорода в углеродных слоях
1.1. Захват изотопов водорода в осаждаемых в токамаках углеродных слоях.
1.1.1. Газовый баланс дейтерия в токамаках
1.1.2. Захват изотопов водорода в осаждаемых углеродных слоях
1.2. Методы удаления и кондиционирования осажденных пленок.
1.3. Лабораторные исследования углеродных слоев
1.3.1. Влияние температуры подложки на структуру углеродных пленок.
1.3.2. Влияние температуры подложки на содержание в пленках водорода.
1.3.3. Зависимость структуры углеродных слоев и содержания в них водорода от энергии ионов.
1.3.4. Изменение структуры напыленных углеродных слоев под действием ионной бомбардировки
1.3.5. Зависимость концентрации водорода в углеродных слоях от давления
1.3.6. Кислород в углеродных слоях.
1.4. Механизм сорбции частиц на поверхности графита
1.5. Заключение
Глава 2. Исследование захвата водорода в осаждающихся углеродных слоях
2.1. Экспериментальный стенд для осаждения углеродных пленок.
2.1.1. Испаритель графита
2.1.2 Узел крепления подложек
2.1.3. Плазменная камера.
2.2. Параметры стенда
2.3. Стенд термодесорбционного анализа ТДС1.
2.4. Методика проведения экспериментов.
2.4.1. Зависимость скорости напыления и толщины пленок от тока нагрева электрода.
2.4.2. Условие стабильного напыления пленок
2.4.3. Рассеяние потока углерода на молекулах водорода.
2.4.4. Влияние толщины пленок на форму ТД спектров.
2.4.5. Возможное влияние атомарного водорода.
2.5. Результаты и обсуждение.
2.5.1. Углеродные пленки, напыленные в остаточном газе.
2.5.2. Осаждение пленок в атмосфере водорода.
2.5.3. Углеродные пленки, напыленные с сопутствующим плазменным облучением
2.5.4. Зависимость захвата водорода в углеводородные пленки от материала и
температуры подложек.
2.6. Заключение
Глава 3. Особенности захвата и десорбции изотопов водорода при плазменном облучении напыленных углеводородных слоев.
3.1. Экспериментальный стенд для осаждения углеводородных слоев
3.1.1. Основные элементы конструкции стенда
3.1.2. Мишенный узел.
3.2.1 Гараметры стенда.
3.3. Методика проведения экспериментов.
3.3.1. Подготовка установки и подложки к напылению.
3.3.2. Подбор оптимальных параметров напыления.
3.3.3. Осаждение углеводородных слоев
3.4. Установка ТДС анализа и плазменного облучения ТДС2.
3.5. Параметры установки ТДС2.
3.6. Результаты и обсуждение.
3.6.1. Характеристика углеводородных пленок
3.6.2. Облучение углеводородных пленок в плазме
3.6.3. Расчет десорбции водорода.
3.6.4. Расчет распределения дейтерия по глубине
3.7. Заключение
Глава 4. Исследование углеводородных слоев, напыленных в токамаке Тор Супра
4.1. Материаловсдчсский зонд для Тоге
4.1.1. Конструкция зонда.
4.1.2. Расположение зонда в токамаке.
4.2. Параметры зонда.
4.2.1. Ток ионов на образцы
4.2.2. Температура образцов
4.2.3. Поток углерода на образцы.
4.2.4. Энергия ионов углерода.
4.3. Стенд ТДС анализа в лаборатории .
4.3.1. Конструкция стенда.
4.3.2. Характеристики стенда
4.4. Методика проведения экспериментов
4.5. Результаты и обсуждение
4.5.1. Осаждение слоев на подложки
4.5.2. Осаждение слоев на подложки В4С
4.6. Заключение.
4.7. Практические рекомендации для токамаков
5. Выводы.
Список цитированной литературы
- Киев+380960830922