Оглавление
Введение
1. Анализ современного состояния вопроса и задачи настоящего исследования
1.1. Описание импульсного магнетронного разряда
1.2. Основные процессы в плазме сильноточного импульсного магнетронного разряда
1.3. Актуальность применения импульсных магнетронных разрядов большой мощности
1.4. Сравнение разрядов СИМР и Н1Р1М
2. Экспериментальная установка
2.1. Принципиальная схема
2.2. Вакуумная система
2.3. Разрядное устройство
2.4. Электрическая система питания разряда
2.4.1. Система коммутации большой мощности
2.5. Система зондовых измерений
2.6. Электростатический энергоанализатор
2.7. Спектральная диагностика
3. Моделирование процессов в СИМР
3.1. Расчет магнитной системы магнетрона
3.2. Расчет скорости нанесения покрытия
3.3. Динамика тепловых процессов на катоде
3.3.1. Программный пакет Сотзо1 МиШрЬуьюв
3.3.2. Тепловая модель катода
3.3.3. Влияние мощности СИМР на температуру поверхности катода
4. Экспериментальное исследование СИМР
4.1. Результаты зондовых и спектральных исследований
4.2. Импульсная скоростьнанесения покрытий
4.3. Ускорительные процессы в СИМР
4.3.1. Область замыкания разрядного тока
4.3.2. Скорость распада плазменного образования
4.3.3. Процессы потери частиц
43.4. Качественная модель процесса электродинамического ускорения
4.3.5. Зондовые эксперименты по подтверждению ускорительных процессов
4.3.6. Энергетический спектр ионов, выходящих из плазмы СИМР ПО
5. Технологическое применение СИМР
5.1. Развитие физикоматематической модели
5.2. Применение СИМР
Заключение
Список литературы
- Киев+380960830922