Содержание
Введение.
Обзор литературы
Глава 1. Теоретические методы исследования кинетики частиц.
1.1 Моделирование транспортных коэффициентов в постоянном электрическом поле
1.2 Полуаналитичсская модель движения ионов в приэлсктродном слое
1.3 Самосогласованное моделирование на основе метода Частиц в Ячейке.
Глава 2. Сечения рассеяния электронов на молекулах фторуглсводоров.
2.1 Создание самосогласованного набора сечений рассеяния электрона
на молекуле СНРз.
2.2 Тестирование наборов сечений рассеяния электронов на молекуле СГ
2.3 Выводы.
Глава 3 Одночастотные ВЧ емкостные разряды в аргоне, возбуждаемые на высокой и низкой частотах.
3.1 Динамические эффекты в НЧ симметричном разряде.
3.2 Эмиссия вторичных электронов.
3.3 Структура одночастотного разряда на низкой и высокой частотах
3.4 Выводы.
Глава 4. Двухчастотный емкостный разряд в аргоне.
4.1 Аналитический расчет функции распределения ионов но энергии
4.2 Эксперимент ДЧ
4.3 МЧЯ МК расчет ДЧ разряда
4.4 Выводы
Глава 5. Высокочастотный емкостный разряд в смесях АгСНРз, АгСГ..
Заключение
Благодарности.
Литература
- Киев+380960830922