Разработка методов и методик проектирования многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений

ВВЕДЕНИЕ.
1. МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СЕНСОРЫ УГЛОВЫХ СКОРОСТЕЙ И ЛИНЕЙНЫХ УСКОРЕНИЙ.
1.1. Анализ принципов построения и особенностей технологической реализации микромеханичсских сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений.
1.1.1. Технология объемной микрообработки.
1.1.2. Технология поверхностной микрообработки
1.1.3. Смешенная объемноповерхностная микрообработка
1.1.4. ЬЮАтехнология.
1.1.5. МиМРэтехнология.
1.2. Обзор микромеханических сенсоров линейных ускорений.
1.2.1. Осевые сенсоры линейных ускорений
1.2.2. Маятниковые сенсоры линейных ускорений.
1.3. Обзор микромеханических сенсоров угловых скоростей
1.3.1. Сенсоры угловых скоростей ЕЕтипа
1.3.2. Сенсоры угловых скоростей ЕЯтипа
1.3.3. Сенсоры угловых скоростей ЯЯтипа
1.3.4. Камертонные и волновые сенсоры угловых скоростей.
1.4. Выводы
1.5. Постановка задач диссертационной работы.
2. РАЗРАБОТКА МЕТОДА И МЕТОДИКИ ПРОЕКТИРОВАНИЯ ДВУХОСЕВЫХ СЕНСОРОВ УГЛОВЫХ СКОРОСТЕЙ И ЛИНЕЙНЫХ
УСКОРЕНИЙ С ОДНОЙ ИНЕРЦИОННОЙ МАССОЙ.
2.1. Разработка конструкции двухосевого микромеханического
сенсора угловых скоростей и линейных ускорений с одной инерционной массой
2.2. Моделирование двухосевого микромеханического сенсора угловых скоростей и линейных ускорений с одной инерционной массой.
2.3. Метод и методика проектирования двухосевых микромеханичсских сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений с одной инерционной массой
2.4. Выводы.
3. РАЗРАБОТКА МЕТОДА И МЕТОДИКИ ПРОЕКТИРОВАНИЯ
ДВУХОСЕВЫХ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ СЕНСОРОВ УГЛОВЫХ
СКОРОСТЕЙ И ЛИНЕЙНЫХ УСКОРЕНИЙ С ОДНОЙ
ИНЕР1ШОННОЙ МАССОЙ И ПРОМЕЖУТОЧНОЙ РАМКОЙ
3.1. Разработка конструкции двухосевого микромеханических сенсора угловых скоростей и линейных ускорений с одной инерционной массой и промежуточной рамкой.
3.2. Моделирование двухосевого микромеханического сенсора угловых скоростей и линейных ускорений с одной инерционной массой и промежуточной рамкой
3.3. Метод и методика проектирования двухосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений с одной инерционной массой и промежуточной рамкой.
3.4. Выводы.
4. РАЗРАБОТКА МЕТОДА И МЕТОДИКИ ПРОЕКТИРОВАНИЯ
ТРЕХОСЕВЫХ СЕНСОРОВ УГЛОВЫХ СКОРОСТЕЙ И ЛИНЕЙНЫХ
УСКОРЕНИЙ С ДВУМЯ ИНЕРЦИОННЫМИ МАССАМИ
4.1. Разработка конструкции трехосевого микромеханического сенсора угловых скоростей и линейных ускорений с двумя инерционными массами.
4.2. Моделирование трехосевого микромеханического сенсора угловых скоростей и линейных ускорений с двумя инерционными
массами
4.3. Метод и методика проектирования трехосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений с двумя инерционными массами
4.4. Выводы.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ