СОДЕРЖАНИЕ
Введение и постановка задачи
1. Основные понятия метрологии поверхности отражающих изделий и классификация задач измерения ее параметров
2. Контактные и бесконтактные методы измерения. Преимущества когерентнооптических методов перед другими бесконтактными методами
3. Недостатки когерентнооптических методов и вытекающие из них задачи совершенствования. Формулировка задач диссертации. . . . .
4. Научные положения, выносимые на защиту.
5. Структура диссертационной работы.
Глава I. Классификация и анализ современных оптических методов контроля геометрических параметров поверхности
1.1. Методы с формированием и обработкой оптического изображения
1.2. Муаровые методы
1.3. Методы с использованием спеклструктуры излучения
1.4. Голографические методы.
1.5. Методы классической интерферометрии
1.6. Комбинированные методы.
1.7. Выводы и обоснование выбора методов решения
задач диссертации
Глава П. Описание процесса формирования топограммы с помощью корреляционных функций волновых полей
2.1. Обобщенное уравнение топограммы сфокусированного изображения. .
2.2. Одноэкспозиционные методы с использованием частичной когерентности освещающего излучения . .
Стр.
2.3. Методы, основанные на пространственной корреляции спеклструктур.
2.4. Выводы
Глава Ш. Модифицированные голографические методы измерения
отклонений формы поверхности отражающих изделий .
3.1. Чувствительность голографической топограммы и факторы ее ограничения.
3.2. Голографическая сфокусированная топограмма с повышенной чувствительностью. Способ компенсации сдвига микроструктуры излучения .
3.3. Отражательная голографическая, топограмма. .
ЗА. Влияние шумов различной природы на контраст отражательной топограммы.
3.5. Отражательная интерферограмма сдвига.III
3.6. Муароголографическая топография с дифракционной решеткой
3.7. Выводы.
Глава 1У. Разработка и экспериментальное исследование методов спеклтопографии
4.1. Особенности спеклфотографии
4.2. Спеклтопография, с маскированной апертурой. . .
4.3. Рефлексная спеклтопография .
4.4. Рефлексная спеклтопография в частично когерентном излучении.
4.5. Спеклтопография с круговой апертурой СТКА. .
4.6. Экспериментальное исследование метода СТКА. . .
4.7. Погрешности методов спеклтопографии.
4.8. Выводы.
Заключение ,.
Литература
- Київ+380960830922