Статистический контроль и управление качеством технологических процессов изготовления интегральных микросхем при мелкосерийном и прерывистом производстве

Введение
Глава 1. Статистические методы управления качеством технологических процессов.
1.1 Применение аппарата математической статистики при управлении качеством.
1.2 Классификация статистических методов, применяемых для анализа и оценки состояния технологических процессов
1.2.1 Оценка статистических параметров и проверка гипотез
1.2.2 Критерии согласия опытного распределения контролируемого параметра с нормальным законом
1.2.3 Дисперсионный анализ и характеристики изменчивости.
1.3 Методы, применяемые при статистическом управлении процессами изготовления интегральных микросхем.
1.3.1 Диаграмма Парето.
1.3.2 Оценка налаженности технологического процесса на основе применения коэффициентов Ср и Срк.
1.3.3 Оценка показателей настроенности, точности и стабильности технологического процесса.
1.3.4 Контрольные карты регулирования
1.4 Выводы.
Глава 2. Управление качеством технологических процессов изготовления интегральных микросхем. Порядок применения статистических методов.
2.1 Система стандартов, регламентирующих качество интегральных микросхем.
2.2 Технологическое обеспечение качества интегральных микросхем .
2.2.1 Технические требования к технологическим процессам
2.2.2 Система операционного контроля в процессе производства
2.3 Формирование состава технологических операций и параметров для проведения статистического контроля и регулирования
2.4 Оценка качества технологических процессов при сертификации производства.
2.5 Рекомендации по применению методов статистического контроля и регулирования технологических процессов
2.5.1 Особенности применения методов статистического контроля и регулирования технологических процессов
2.5.2 Порядок внедрения статистических методов при управлении технологическими процессами
2.6 Выводы
Глава 3. Разработка методики статистического контроля технологических процессов изготовления интегральных микросхем при мелкосерийном и прерывистом производстве.
3.1 Теоретические основы применения толерантных границ для контроля технологических процессов при выпуске продукции малыми партиями.
3.2 Порядок осуществления статистического контроля при мелкосерийном и прерывистом производстве.
3.3 Метод статистического контроля для партий изделий малого объема при прерывистом производстве.
3.3.1 Оценка статистических характеристик по результатам контроля партий интегральных микросхем с различными количествами контролируемых значений параметра
3.3.2 Оценка толерантных границ для контролируемого параметра по результатам испытаний интегральных микросхем с малыми объемами выборки
3.3.3 Порядок сравнения результатов расчета толерантных границ со значениями контролируемого параметра и полем допуска.
3.4 Выводы.
Глава 4. Управление технологическими процессами изготовления
интегральных микросхем с применением методов статистического контроля и регулирования.
4.1 Примеры проведения статистического анализа технологических
процессов с применением существующих методов.
4.1.1 Оценка состояния технологического процесса при контроле толщины защитного слоя окисла Б Юг.
4.1.2 Оценка состояния технологического процесса при контроле удельного поверхностного сопротивления.
4.2 Управление технологическими процессами с применением метода
статического контроля для партий малого объема при прерывистом производстве
4.2.1 Контроль технологического процесса при производстве партий различного объема с применением толерантных границ
4.2.2 Комплексный анализ технологического процесса с применением толерантных границ и показателей настроенности и точности
4.3 Выводы
Заключение.
Литература