Многомезовые лавинно-пролетные диоды миллиметрового диапазона с повышенным уровнем выходной мощности СВЧ

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА I. СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ ПРОБЛЕМЫ
ТЕПЛОВЫХ ОГРАНИЧЕНИЙ УРОВНЯ ВЫХОДНОЙ МОЩНОСТИ ГЕНЕРАТОРНЫХ СВЧ ДИОДОВ МИЛЛИМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА
1.1. Введение
1.2. Проблема тепловых ограничений мощности
1.3. ЛПД с алмазным теплоотводом
1.4. Структуры с развитой периферией
1.5. Влияние структурных параметров материала на технические характеристики приборов
ГЛАВА II. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ ПРОБЛЕМЫ
ОТВОДА ТЕПЛА МОЩНЫХ СВЧ МЕЗАДИОДОВ
2.1. Введение
2.2. Минимизация высоты мезакристалла
2.3. Двухмезовый ЛПД 4 мм диапазона
2.4. Новые подходы в технологии изготовления ЛПД с развитой периферией активной структуры
2.5. Реализация технологии многомезового ЛПД
ГЛАВА III. РЕНТГЕНОДИФРАКЦИОННЫЙ
КОНТРОЛЬЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ КРЕМНИЯ
3.1. Введение
3.2. Исходное рентгенодифрактометрическое изучение пленок кремния
3.3. Рентгенотопографическое исследование пленок и пластин кремния
3.4. Исследование пленок кремния методом трехкристальной
рентгеновской дифрактометрии
3.5. Связь структурных параметров с процентом выхода и качеством многомезовых кремниевых ЛПД миллиметрового диапазона
ЗАКЛЮЧЕНИЕ И ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ЛИТЕРАТУРА
Актуальность