Конструктивно-технологический базис кремниевых микрофлюидных электромеханических микросистем

СОДЕРЖАНИЕ
Введение
1 .Глава. Роль микросистемной техники в развитии новых технологий
1.1. Микросистемная техника проблемы и решения
1.2. Организационные проблемы развития МСТ
1.3. Проблема выбора технологий в МСТ
1.4. Проблема масштабирования в микросистемной технике
1.5. Выводы Постановка задач исследования
2. Глава. Микрофлюидные микроэлектромеханические системы МФ МЭМС
2.1. Роль и место МФ МЭМС в исследованиях и производстве микросистем
2.2. Выбор материалов для изготовления элементов МФ МЭМС и их влияние на конструкцию и технологию изготовления элементов
2.3. Выбор технологий САПР и производства МФ МЭМС
2.4. Европейские центры проектирования и производства МФ МЭМС
2.5. Кремниевая и кремнийстекло технологии изготовления элементов МФ МЭМС
2.6. Сборка и корпусирование МФ МЭМС
3. Глава. Применимость кремниевой технологии для создания МФ МЭМС
3.1. Адаптация кремниевой технологии для изготовления основных компонентов МФ МЭМС
3.2. Основные конструктивные элементы МФ МЭМС и их функции
3.2.1. Блоки подготовки, накопления, доставки реагентов и аналитов
3.2.2. Блоки активации движения среды жидкости в МФ МЭМС
3.2.3. Блоки регулирования потока
ф 3.2.4. Контроль потока
3.2.5. Блоки подготовки реагентов
3.2.6. Блок реактора и вывода продуктов реакции
3.2.7. Информационный блок
3.2.8. Блок контроля состояния МФ МЭМС
3.3. Основные уравнения гидродинамики
3.4. Применимость классической гидродинамики к МФ МЭМС
3.5. Экспериментальная технология изготовления каналов в системе кремнийстекло
4. Г лава. Активные элементы МФ МЭМС
4.1. Микродозатор
ф 4.1.1. Микроклапаны
4.1.2. Гидродинамические клапаны диффузор и сопло
4.2. Экспериментальная проверка работы микрофорсунки с соплом
4.3. Актюаторы в конструкциях МФ МЭМС.
4.4. Мембрана в кострукции микродозатора.
4.5. Экспериментальная оценка параметров актюатора 9 микродозатора.
4.6. Исследование конструктивно технологических параметров 7 макета дозатора
4.7. Расчет режима работы микронасоса и микродозатора
4.8. Схема разработки микродозатора
Заключения и выводы по работе
Список литературы