Автоматическое управление формой растущего монокристалла

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА I. АНАЛИЗ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ ТЕЖШШЧЕСКИМ ПРОЦЕССОМ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРЖТДЛЛОВ МЕТОДОМ
ЧОХРАЛЬСКОГО
Введение.
1.1. Особенности технологического процесса выращивания монокристаллов методом Чохральского
1.2. Анализ систем управления диаметром выращиваемого монокристалла
Выводы.
ГЛАВА П. РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ МАТЕМАТИЧЕСКОЙ МОДЕЛИ ДИНАМИКИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ МЕТОДОМ ЧОХРАЛЬСКОГО
Введение.
2.1. Анализ существующих моделей процесса выращивания монокристаллов методом Чохральского.
2.2.Разработка математической модели фотоэлектронного датчика.
2.3. Разработка математической модели возмущений процесса выращивания монокристаллов
2.4. Идентификация параметров каналов управления процессом кристаллизации
2.5. Разработка и исследование математической моде.
ли процесса кристаллизации.
2.6. Разработка и исследование полной математической модели динамики технологического процесса выра
Стр.
щивания монокристаллов методом Чохральского .
и получение ее дискретного аналога.
Выводы.
ШАБА Ш. СИНТЕЗ И ИССЛЕДОВАНИЕ САМОНАСТРАИВАЩЕРОСЯ ЗАКОНА УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССОМ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ МЕТОДОМ ЧОХРАЛЬСКОГО
Введение.
3.1. Выбор и обоснование критерия качества функционирования системы управления.
3.2. Синтез самонастраивающегося закона управления
3.3. Разработка самонастраивающегося алгоритма управления процессом выращивания монокристаллов
3.4. Исследование самонастраивающейся системы управления процессом выращивания монокристаллов
методом численного моделирования
ВыводыII
ГЛАВА У. РАЗРАБОТКА МЕТОДИКИ ТЕХНИЧЕСКОЙ РЕАЛИЗАЦИИ
САМОНАСТРАИВАЩЕРОСЯ АЛГОРИТМА УПРАВЛЕНИЯ
Введение
4.1. Структурная схема установки для реализации самонастраивающейся системы управления.
4.2. Анализ характеристик устройств сопряжения.
4.3. Выбор и оценка характеристик управляющей ЭВМ.
4.4. Особенности программирования самонастраивающегося алгоритма.
4.5. Методика и результаты экспериментального исследования самонастраивающегося алгоритма управления 5
Стр.
Выводы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ