Разработка конструктивно-технологических методов производства кремниевых чувствительных элементов давления с повышенной стойкостью к перегрузкам

Содержание
Перечень сокращений
Введение.
Глава 1. Актуальность разработки кремниевых чувствительных
элементов давления .с повышенной стойкостью к перегрузкам.
1.1 Способы преобразования сигнала.
1.1.1 Преобразование сигнала изменением мкости
1.1.2 Вибрационночастотный способ преобразования
1.1.3 Преобразование сигнала изменением сопротивления
1.2 Конструкции и технологические методы изготовления ЧЭ.
1.3 Способы выполнения защиты первичных преобразователей
от разрушения при перегрузках.
1.4 Конструктивнотехнологические решения датчиков
для измерения малых давлений
1.5 Способы математического описания погрешности
нелинейности выходного сигнала тензопреобразователей
1.6 Методы микрообработки кремния
1.6.1 Жидкостное анизотропное травление
1.6.2 Качество вытравливаемого рельефа.
1.6.3 Электромеханический ограничитель травления.
1.7 Компенсация растравливания выпуклых углов
1.8 Выводы к первой главе
Глава 2. Разработка конструкции и технологии изготовления
чувствительного элемента давления со встроенной защитой от перегрузок.
2.1 Введение.
2.2 Исследование нагрузочной способности макета тензомодуля
2.3 Разработка чувствительного элемента с защитой от перегрузок
2.4 Технология формирования стопорного углубления
2.4.1 Формирование стопорного углубления за счт стеклянного
основания.
2.4.2 Формирование стопорного углубления за счт кремниевого
кристалла
2.4.3 Технологические примы для устранения взаимодействия
поверхностей жесткого центра и основания в процессе электростатического соединения.
2.5 Исследование характеристик тензомодулей с защитой от перефузок
2.5.1 Методика проведения экспериментов.
2.5.2 Исследование тензомодулей при комнатной температуре.
2.5.3 Исследование работоспособности тензомодулей
при повышенных и пониженных температурах.
2.6 Моделирование нафузочной способности чувствительных элементов.
2.6.1 Методы моделирования
2.6.2 Результаты моделирования нагрузочной способности ЧЭ.
2.7 Методика расчта величины стопорного углубления.
2.8 Анализ возможных технологических отказов в работе ЧЭ с защитой
от перефузок и способы устранения вызывающих их причин.
2.9 Выводы ко второй главе
Глава 3. Исследование причин возникновения нелинейности преобразовательной характеристики чувствительного элемента.
3.1 Оценка чувствительности первичного тепзопреобразователя.
3.2 Теоретический расчт нелинейности преобразовательной
характеристики ЧЭ
3.3 Исследование линейности преобразовательных характеристик
опытных образцов ЧЭ
3.4 Моделирование преобразовательной характеристики ЧЭ
3.5 Исследование возможности создания ЧЭ для измерения
давлений, существенно превышающих номинальное
3.6 Выводы к третьей главе
Глава 4. Разработка чувствительного элемента для измерения малых давлений менее 6,3 кПа
4.1 Введение.
4.2 Разработка ЧЭ для измерения малых давлений.
4.3 Исследование характеристик ЧЭ на малые давления
4.4 Исследование точностных характеристик датчиков
на малые давления
4.5 Выводы к четвртой главе.
Глава 5. Разработка методики выбора формы и назначения размеров
фигур компенсации при анизотропном травлении кремния.
5.1 Введение.
5.2 Методика проведения эксперимента и обработки результатов
5.3 Результаты экспериментов.
5.4 Квадратный компенсатор.
5.5 Диагональный компенсатор.
5.6 Компенсатор в форме полоски
5.7 Комбинированный компенсатор
5.8 Назначение размеров мембраны.
5.9 Выводы к пятой главе.
Общие выводы по работе
Список литературы