Влияние геометрических и температурных факторов на сублимационный массоперенос в микроразмерных ростовых ячейках : технологические аспекты

ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1 ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ.
1.1. Общие сведения о методе
зонной сублимационной перекристаллизации
1.2. Развитие исследований сублимационного осаждения слоев
при малых расстояниях между источником и подложкой.
1.3. Сравнительная характеристика метода ЗСП
и родственных методов.
1.4. Материалы источников для ЗСП.
1.5. Модели массопереноса при ЗСП.
1.5.1. Интегральная модель.
1.5.2. Диффузионная модель.
1.5.3. Атомнокинетическая модель
1.6. Экспериментальные исследования и применение процесса ЗСП
1.7. Заключение и выводы
ГЛАВА 2 ТЕОРИЯ СУБЛИМАЦИОННОГО МАССОПЕРЕНОСА В МИКРОРАЗМЕРНЫХ РОСТОВЫХ ЯЧЕЙКАХ
2.1. Сублимационная перекристаллизация
в ростовой зоне произвольной геометрической конфигурации
2.2. Физические основы и математический аппарат атомнокинетической модели массопереноса при ЗСП.
2.2.1. Сублимация вещества.
2.2.2. Массоперенос через ростовую зону
2.2.3. Взаимодействие атомов с границами ростовой зоны.
2.3. Моделирование массопереноса при ЗСП
в ростовых зонах разной геометрической конфигурации.
2.3.1. Плоскопараллельная ростовая зона
2.3.2. Цилиндрическая ростовая зона
2.3.3. Ростовая зона с элементами рельефа
2.4. Влияние температурных условий процесса ЗСП на массоперенос.
2.4.1. Зависимость скорости ЗСП от перепада температур
на фазовых границах ростовой зоны
2.4.2. Краевой температурный эффект
2.4.3. Анализ температурных условий
контролируемого ростатравления нанослоев
ГЛАВА 3 РАЗРАБОТКА ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОГО ОБОРУДОВАНИЯ И МЕТОДИК ИССЛЕДОВ АНИЯ СВОЙСТВ ОСАЖДАЕМЫХ СЛОЕВ.
3.1. Разработка экспериментального оборудования.
3.1.1. Вакуумная система и рабочая камера установки
3.1.2. Выбор материала технологической оснастки.
Изготовление унифицированных держателей
3.1.3. Конструирование нагревательных устройств.
3.1.4. Измерение температурных параметров процесса
3.1.5. Температурновременные режимы
3.2. Источники и подложки, используемые
для экспериментальных исследований
3.2.1. Выбор модельных материалов.
3.2.2. Разработка конструкции источников
3.2.3. Изготовление подложек
3.3. Методика исследования структуры и свойств осаждаемых слоев.
3.3.1. Изучение слоев методами сканирующей зондовой микроскопии и рентгеновского микроанализа.
3.3.2. Измерение распределения толщины осаждаемых слоев
3.3.3. Изготовление АСМзондового датчика с карбоновым вискером для исследования наноразмерных эпитаксиальных слоев.
ГЛАВА 4 ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ВЛИЯНИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ И ТЕМПЕРАТУРНЫХ УСЛОВИЙ НА МАССОПЕРЕ1 ЮС ПРИ ЗСП
4.1. Общие замечания
4.2. Получение моно и поликристаллических слоев методом ЗСП
4.2.1. Исследование влияния геометрических и температурных факторов на процесс ЗСП в плоскопараллельной ростовой зоне
4.2.2. Изучение структурных свойств эпитаксиальных слоев
4.3. Изготовление вакуумтермической оснастки методом ЗСП
4.3.1. Металлизация внутренней поверхности цилиндрических тел
4.3.2. Нанесение высокотемпературных металлов
на поверхность графитовых нагревателей
4.3.3. Исследование свойств высокотемпературных
защитных покрытий
4.4. Физикотехнические исследования методом ЗСП
4.4.1. Методика определения скорости сублимации высокотемпературных материалов.
4.4.2. Расчет давления паров тугоплавких металлов.
4.5. Компьютерное прогнозирование технологических процессов
4.6. ЗСП как метод получения наноразмерных эпитаксиальных слоев.
ОБЩИЕ ВЫВОДЫ.
ЛИТЕРАТУРА