Введение
Глава 1. Формирование остаточной газовой среды в современном оборудовании высоких вакуумных технологий И
1.1.Технологические требования к составу остаточной газовой среды базовых технологических процессов электронной техники И
1.2. Методы создания оптимальных вакуумных систем оборудования базовых технологий электронной техники
1.3. Пути развития безмасляных форвакуумных насосов в отечественной и мировой практике
Выводы
Глава 2. Создание безмасляных форвакуумных насосов на основе высокочувствительных сварных сильфонов и мембран
2.1. Опыт использования сильфонов в качестве герметичной рабочей полости переменного объема
2.2. Анализ функциональных схем двухступенчатых безмасляных форвакуумных насосов на основе высокочувствительных мембран и сильфонов
2.2.1. Мембранные форвакуумные насосы
2.2.2. Сильфоннопоршневые двух и трехступенчатые насосы
2.2.3. Сильфонные насосы линейной и коаксиальной структуры
2.3. Анализ конструкций сильфоннопоршневых и сильфонных двухступенчатых безмасляных форвакуумных насосов
2.3.1. Сильфоннопоршневые двухступенчатые насосы
2.3.2. Двухступенчатые сильфонные форвакуумные насосы линейной и коаксиальной стоуктуоы
2.4. Особенности расчета быстроты действия сильфоннопоршневых и силыЬонных лвухкамеоных насосов
Выводы
Глава 3. Метод расчета проводимости элементов вакуумной системы произвольной формы
3.1. Общие положения
3.2. Алгоритм метода пробной частицы
3.3. Исследования процессов столкновения молекул между собой и с поверхностями элементов вакуумной системы
3.4. Расчет проводимости канала сложной формы с изменяющимися геометрическими размерами
Выводы
Глава 4. Теоретические исследования откачных характеристик двухступенчатых форвакуумных насосов на основе сварных высокочувствительных складывающихся сильфонов
4.1. Анализ геометрических параметров сильфонов, образующих рабочую полость переменного объема форвакуумных насосов
4.2. Анализ геометрических параметров второй ступени сильфоннопоршневых насосов
4.3. Исследования откачных характеристик параметрического ряда двухступенчатых сильфоннопоршневых и сильфонных двухкамерных форвакуумных насосов
Выводы
Глава 5. Экспериментальные исследования основных эксплуатационных характеристик безмасляных форвакуумных насосов на основе сварных высокочувствительных складывающихся сильфонов и перспективы развития
5.1. Цели и задачи экспериментальных исследований
5.2. Экспериментальное исследование откачных характеристик сильфоннопоршневых и сильфонных форвакуумных насосов
5.2.1. Методика экспериментальных исследований
5.3. Экспериментальное исследование структуры покрытия и характера износа контактной поверхности поршня второй ступени сильфоннопоршневого насоса методом сканирующей зондовой микроскопии
5.3.1. Обоснование метода исследований
5.4. Экспериментальная оценка ресурса сильфонных камер форвакуумных насосов с использованием метода рентгеновской дифрактометрии
5.4.1. Экспериментальная установка
5.4.2. Методика экспериментальных исследований
5.4.3. Расчет ресурса с использованием метода оценки остаточных напряжений
5.5. Перспективные разработки сильфоннопоршневых и сильфонных двухступенчатых форвакуумных насосов с охранным вакуумом
Выводы
Заключение
Литература
- Київ+380960830922