Содержание
Введение
Глава 1. Состояние технологии и оборудования для реактивного нанесения многослойных покрытий на поверхности большого размера
1.1. Области использования многослойных тонкопленочных покрытий, нанесенных на поверхности большого размера.
1.2. Современное вакуумное оборудование, применяемое для реактивного нанесения многослойных покрытий на поверхности большого размера.
1.3. Современные методы и устройства нанесения многослойных покрытий
Выводы к первой главе.
Глава 2. Теоретические исследования процесса реактивного нанесения многослойных покрытий на поверхности большого размера.
2.1. Зависимость времени цикла от структурнокомпоновочного варианта вакуумного оборудования.
2.2. Методика выбора структурнокомпоновочного варианта оборудования .
2.3. Математическая модель формирования технологической среды
при реактивном нанесении тонких пленок.
Выводы ко второй главе
Глава 3. Экспериментальные стендовые исследования процесса нанесения покрытий реактивным методом.
3.1. Исследование степени влияния геометрических параметров и условий нанесения на свойства покрытия.
3.2. Исследование оптических спектров покрытий.
3.3. Исследование установки для нанесения покрытий периодического действия
Выводы к третьей главе
Глава 4. Практическое использование результатов проведенных исследований при отладке технологического процесса нанесения многослойных низкоэмиссионных покрытий на стекло.
4.1. Описание и устройство линии нанесения покрытий.
4.2. Расчеты параметров технологической среды в зоне нанесения покрытия
4.3. Модернизация конструкции камеры нанесения с целью повышения однородности и равномерности толщины получаемого покрытия
Выводы к четвертой главе
Общие выводы
Литература
- Київ+380960830922