Разработка и исследование оптических методов изготовления дифракционных элементов на основе материалов с управляемым коэффициентом поглощения

Оглавление .
Введение.
Глава 1. Конструирование микроструктуры ДОЭ с учетом
технологии изготовления.
1.1. Основы расчета дифракционных линз
1.2. Варьирование микроструктуры ДОЭ
1.3. Преобразование модуляционной функции ДОЭ в
позерхностный микрорельеф.
1.4. Влияние ошибок и ограничений процесса изготовления
на дифракционную эффективность
1.5. Оценка дифракционной эффективности линейных
и осесимметричных ДОЭ с непрерывным профилем 2
1.6. Оценка дифракционной эффективности для ДОЗ,
заданных аналитически.
1.7. Выводы к главе 13
Глава 2. Круговые лазерные записывающие системы КЛЗС
для изготовления ДОЭ .
2.1. КЛЗС с горизонтальным расположением шпинделя.
2.2. КЛЗС с вертикальной осью шпинделя.3
2.3. Системы управления мощностью лазерного пучка с одним
модулятором .4
2.3.1. Система модуляции с каналами прямой и обратной связи4
2.3.2. Базовая система модуляции мощности записывающего пучка4
2.3.3. Система модуляции с тремя каналами обратной связи
2.4. Система управления мощностью пучка с независимыми каналами стабилизации и модуляции
2.4.1. Метод инкрементной записи ДОЭ
2.4.2. Инкрементный аналогоцифровой привод модулятора
2.5. Выводы к главе 2.
Глава 3. Экспериментальное исследование полутоновой
лазерной записи на пленках аморфного кремния
3.1. Получение пленок аБ1
3.2. Методика экспериментов.
3.3. Результаты экспериментов для пленок различных типов.
3.4. Обсуждение результатов исследований.
3.5. Применение пленок i для записи полутоновых фотошаблонов.
3.6. Выводы к главе 3
Глава 4. Исследование применения поверхностномодифицированных
стекол для лазерной записи.
4.1. Технология изготовления стекол
4.2. Исследование воздействия сканирующего лазерного пучка
на стекла
4.3. Жидкостное травление стекол.
4.4. Особенности полутоновой лазерной записи на стеклах
4.5. Влияние скорости сканирования на полутоновую лазерную запись.
4.6. Многопроходная запись
4.7. Пространственное разрешение
4.8. Использования стекол для изготовления полутоновых фотошаблонов
4.9. Выводы к главе 4.
7 . ,
Глава 5. Применение полутоновых фотошаблонов для формирования
рельефа фазовых ДОЭ.
5.1. ДОЭ с глубоким профилем
5.2. Изготовление дифракционных микроструктур с высоким
пространственным разрешением
5.3. Изготовление кольцевых высокоэффективных ДОЭ.
5.4. Изготовление ДОЭ с произвольным топологическим рисунком.
5.5. Выводы к главе 5
Заключение
Литература