Ви є тут

Диффузия, сегрегация и электрическая активация легирующих примесей в диффузионных и имплантационных слоях кремния

Автор: 
Александров Олег Викторович
Тип роботи: 
докторская
Рік: 
2003
Кількість сторінок: 
322
Артикул:
136578
179 грн
Додати в кошик