Ви є тут

Исследование процессов травления диоксида кремния, кремния, полимерных пленок в химически активной плотной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления

Автор: 
Изюмов Михаил Олегович
Тип роботи: 
кандидатская
Рік: 
2001
Кількість сторінок: 
159
Артикул:
1000338315
179 грн
Додати в кошик