СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
1. СЕНСОРНЫЕ И АКТЮАТОРНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ МОЭМС.
1.1. Анализ принципов построения сенсорных и актюаторных
элементов МОЭМС
1.1.1. Технология объемной микрообработки.
1.1.2. ЬЮАтехнология.
1.1.3. Технология поверхностной микрообработки
1.1.4. МиМРБтехнология.
1.2. Обзор сенсорных элементов МОЭМС.
1.2.1. Сенсоры температуры
1.2.2. Сенсоры механических величин.
1.2.3. Сенсоры магнитного поля
1.2.4. Сенсоры излучений
1.2.5. Сенсоры химического состава
1.3. Обзор актюаторных элементов МОЭМС.
1.3.1. Механические микронасосы и микросмесители
1.3.2. Микрозеркала с электростатической активацией.
1.3.3. Микромеханические ключи
1.4. Выводы
1.5. Постановка задач диссертационной работы.
2. РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ ИНТЕГРАЛЬНОГО СЕНСОРА МАГНИТНОГО ПОЛЯ.
2.1. Разработка интегральной консгрукции
сенсора магнитного поля
2.2. Моделирование сенсора магнитного поля.
2.3. Методика проектирования сенсора магнитного поля.
4.1.2. Моделирование интегрального микромеханического
4.1.3.Методика проектирования интегрального микромеханического ключа
4.2. Разработка и исследование логических элементов на основе интегральных микромеханических ключей.
4.3. Методика проектирования цифровых устройств на основе интегральных микромеханических ключей.
4.4. Выводы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ
- Київ+380960830922