ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА 1. НЕКОТОРЫЕ ОСОБЕННОСТИ ПОВЕДЕНИЯ ТОЧЕЧНЫХ ДЕФЕКТОВ В ПОЛУПРОВОДНИКАХ.
1.1. СТРОЕНИЕ И РОЛЬ ТОЧЕЧНЫХ ДЕФЕКТОВ.
1.2. ВЛИЯНИЕ ТОЧЕЧНЫХ ДЕФЕКТОВ НА СВОЙСТВА
ПОЛУПРОВОДНИКОВ
1.3. СИСТЕМА ВЗАИМОДЕЙСТВУЮЩИХ ТОЧЕЧНЫХ ДЕФЕКТОВ КАК ТИПИЧНЫЙ ПРИМЕР НЕРАВНОВЕСНОГО ОБЪЕКТА.
1.4. ПОВЕДЕНИЕ ДЕФЕКТОВ В ПОЛУПРОВОДНИКАХ В
НЕРАВНОВЕСНЫХ УСЛОВИЯХ.
1.5. НЕКОТОРЫЕ ОСОБЕННОСТИ ЭВОЛЮЦИИ ДЕФЕКТОВ В
ОБЛУЧАЕМЫХ ПОЛУПРОВОДНИКАХ.
1.6. УПОРЯДОЧЕНИЕ И ОБРАЗОВАНИЕ СТРУКТУР В СИСТЕМЕ ДЕФЕКТОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВ.
1.7. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ИНТЕРПРЕТАЦИИ АНОМАЛЬНЫХ
ЯВЛЕНИЙ В РАДИАЦИОННОЙ ФИЗИКЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВ
1.8. СПОСОБЫ ОПИСАНИЯ ЭВОЛЮЦИИ ТОЧЕЧНЫХ ДЕФЕКТОВ ПРИ ВНЕШНЕМ ВОЗДЕЙСТВИИ НА КРИСТАЛЛИЧЕСКУЮ МАТРИЦУ ПОЛУПРОВОДНИКА 4
1.9. ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ.
ГЛАВА 2. АНАЛИЗ ЭВОЛЮЦИИ ВОДОРОДА, ИМПЛАНТИРОВАННОГО В ЛЕГИРОВАННЫЙ КРЕМНИЙ.
2.1. ОБЗОР ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ И ТЕОРЕТИЧЕСКИХ РАБОТ
ПО ДИФФУЗИИ ВОДОРОДА В ЛЕГИРОВАННОМ КРЕМНИИ
2.2. НЕКОТОРЫЕ СВЕДЕНИЯ ИЗ ТЕОРИИ САМООРГАНИЗАЦИИ В
НЕРАВНОВЕСНЫХ СИСТЕМАХ.
2.3. ПОСТРОЕНИЕ ДИНАМИЧЕСКОЙ МОДЕЛИ ДИФФУЗИИ ВОДОРОДА В ЛЕГИРОВАННОМ .
2.4. АНАЛИЗ ДИНАМИЧЕСКОЙ МОДЕЛИ ЭВОЛЮЦИИ ВОДОРОДА,
ИМПЛАНТИРОВАННОГО В ЛЕГИРОВАННЫЙ КРЕМНИЙ 7
2.5. РЕШЕНИЕ СТАЦИОНАРНОЙ СИСТЕМЫ УРАВНЕНИЙ ДЛЯ ДИФФУЗИИ ВОДОРОДА в р 8
2.6. ОБЪЯСНЕНИЕ НАБЛЮДАЕМОГО ОТКЛОНЕНИЯ ПРОФИЛЯ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ Н В РБ1 ОТ ФУНКЦИИ ЕРБС
2.7. ОБРАЗОВАНИЕ ФРАКТАЛЬНОЙ РЕШЕТКИ И ЕЕ ВЛИЯНИЕ НА ДИФФУЗИЮ
2.7.1. ПОНЯТИЕ О ФРАКТАЛАХ
2.7.2. ВОЗНИКНОВЕНИЕ ФРАКТАЛЬНОЙ РЕШЕТКИ В ЛЕГИРОВАННОМ ЭЬ
2.8. ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ.
ГЛАВА 3. МОДЕЛЬ ФОРМИРОВАНИЯ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ
3.1. ПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ В ПРИКЛАДНОЙ ОПТОЭЛЕКТРОНИКЕ. .
3.2. ПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ. ОДИН ИЗ МЕХАНИЗМОВ ФОРМИРОВАНИЯ.
3.3. ОБРАЗОВАНИЕ И ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ТОЧЕЧНЫХ ДЕФЕКТОВ .
3.3.1. ПРОЦЕССЫ НА ПОВЕРХНОСТИ.
3.3.2. КВАЗИХИМИЧЕСКИЕ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ
3.4. КВАЗИХИМИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ПРОЦЕССОВ В
3.4.1. КВАЗИХИМИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ
3.4.2. ДИФФУЗИОННЫЙ АСПЕКТ МОДЕЛИ
3.4.3. ЗАМЕНА ПЕРЕМЕННЫХ НА БЕЗРАЗМЕРНЫЕ ПАРАМЕТРЫ .
3.4.4. АНАЛИЗ КОЛИЧЕСТВА СТАЦИОНАРНЫХ СОСТОЯНИЙ СИСТЕМЫ
3.4.5. АНАЛИЗ УСТОЙЧИВОСТИ СТАЦИОНАРНЫХ СОСТОЯНИЙ
3.5. МОДЕЛЬ МЕХАНИЗМА ОБРАЗОВАНИЯ ПУСТОТ В КРЕМНИИ
3.5.1. ФОРМИРОВАНИЕ СЕЛЕКТИВНОСТИ ТРАВЛЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ
3.5.2. ВЫРАЖЕНИЯ ДЛЯ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНО НАБЛЮДАЕМЫХ ПАРАМЕТРОВ
3.5.3. ФОРМИРОВАНИЕ ДЕНДРИТНОЙ СТРУКТУРЫ ПУСТОТ
3.5.4. СМЕНА РЕЖИМОВ ПОЛИРОВКА, ОБРАЗОВАНИЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ, ОБРАЗОВАНИЕ АМОРФНОГО КРЕМНИЯ .
3.6. ТРАВЛЕНИЕ КРЕМНИЯ ОБЩАЯ СХЕМА И РОЛЬ
КОНЦЕНТРАЦИИ ПЛАВИКОВОЙ КИСЛОТЫ.
3.6.1. РАСТВОРЕНИЕ АТОМОВ КРЕМНИЯ.
3.6.2. ЭМПИРИЧЕСКИЙ ПОДБОР ЗАВИСИМОСТИ ПОРИСТОСТИ ОТ КОНЦЕНТРАЦИИ ПЛАВИКОВОЙ КИСЛОТЫ.
3.6.3. ТРАВЛЕНИЕ КРЕМНИЯ ПОСТАДИЙНЫЙ АНАЛИЗ, РОЛЬ
ДЫРОК И ИХ АВТОКАТАЛИТИЧЕСКАЯ ГЕНЕРАЦИЯ.
3.7. МОДЕЛЬ МЕХАНИЗМА ДИФФУЗИИ И ОЦЕНКА КОЭФФИЦИЭНТА ДИФФУЗИИ ВОДОРОДНОВАКАНСИОННОГО КОМПЛЕКСА
3.8. ЧИСЛЕННЫЕ ЗНАЧЕНИЯ КИНЕТИЧЕСКИХ КОЭФФИЦИЕНТОВ. .
3.9. ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ЦИТИРУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922